FO-WLP प्रक्रिया में, पुनर्वितरण स्तर ही महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। डाइ पर 0.3°C का भी तापमान-परिवर्तन तनाव पैदा करता है; इससे मोल्ड विकृत हो जाता है, एवं उत्पादन में कमी आ जाती है। ऐसी स्थिति में ऐसे हीटर की आवश्यकता होती है जो तापमान को नियंत्रित कर सके… बिना किसी अनुमान के।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने सेमीकंडक्टर-ग्रेड नियंत्रण हेतु ही ऐसा हीटर विकसित किया है। इस हीटर के कारण सब्सट्रेट पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… इससे हर डाइ को एपॉक्सी मोल्ड कंपाउंड के सूखने, फोटोरेसिस्ट के नरम होने एवं कठोर होने की प्रक्रिया के दौरान समान तापमान ही मिलता है। यह हीटर क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है… क्योंकि इसकी सतहें एवं सामग्रियाँ कणों की संख्या को कम रखने हेतु चुनी गई हैं। “शून्य कण” तो कोई नारा ही नहीं है… यह तो चैंबर की संरचना, सीलिंग एवं वेंटिलेशन प्रणाली में ही शामिल है। यह सिस्टम 24/7 काम करता है… एवं इसकी तापमान-प्रतिक्रिया ऐसी है कि यह छोटे-छोटे चक्रों में भी सही तरीके से काम करता है।
FO-WLP प्रक्रिया में यह हीटर कैसे मदद करता है?
FO-WLP प्रक्रिया में तापमान-नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है… इस हीटर के कारण फोटोरेसिस्ट का नरम होने की प्रक्रिया सही तरीके से होती है… लाइनों की चौड़ाई भी सही रहती है… एवं हार्ड बेकिंग के दौरान भी मोल्ड सुरक्षित रहता है। इससे मोल्ड-फ्लो सुसंगत रहता है… विकृति से होने वाली खराबियाँ कम हो जाती हैं… एवं तापमान-असमानता के कारण होने वाला अपशिष्ट भी कम हो जाता है। कम-तापमान-द्रव्यमान वाली डिज़ाइन के कारण रैम्प-टाइम कम हो जाता है… एवं स्थिरता भी बनी रहती है… इससे ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है। परिणामस्वरूप, स्थिर प्रक्रियाएँ, पूर्वानुमेय उत्पादन-दर, एवं हीटर-संबंधी समस्याएँ कम हो जाती हैं।
खरीदने से पहले कुछ व्यावहारिक बातें…
यह हीटर मानक FO-WLP उपकरणों में ही इंटीग्रेट हो जाता है… लेकिन आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि इसका आकार एवं वेंटिलेशन-प्रणाली आपकी मशीन के अनुरूप हो। क्लीनरूम में वोल्टेज-स्थिरता भी आवश्यक है… क्योंकि वोल्टेज-चढ़ाव से सेटपॉइंट बदल जाते हैं, एवं तापमान-नियंत्रण भी खराब हो जाता है। अपने विशिष्ट सब्सट्रेट-स्टैक हेतु PID सेटिंग्स को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एक बार यह समायोजित हो जाने के बाद, यह हीटर दिन-रात ±0.1°C के भीतर ही तापमान नियंत्रित करता रहता है।