फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, आप किसी भी तरह की त्रुटियों को छिपा नहीं सकते। हॉटप्लेट पर होने वाला आधा डिग्री का अंतर भी वेफरों की गुणवत्ता पर प्रभाव डालता है… ऐसी स्थिति में वेफर बर्बाद हो जाते हैं। जब “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं को सेकंड एवं डिग्री में मापा जाता है, तो कोई त्रुटि सहन करने की गुंजाइश ही नहीं रह जाती। आईआर लैंप को स्थिर एवं दोहराने योग्य ऊष्मा ही प्रदान करनी होती है… वरना लिथोग्राफी प्रक्रिया प्रभावी ढंग से नहीं चल पाएगी।
तकनीकी दृष्टि से, हमारा आईआर लैंपों हेतु एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर, सेमीकंडक्टरों की ऊष्मा-संबंधी आवश्यकताओं के अनुरूप ही बनाया गया है। यह वेफरों की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखता है… ताकि ऊर्जा-प्रवाह प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुरूप ही रहे। सतह को चमकाकर एवं उस पर विशेष उपचार करके गैसों एवं कणों को कम किया जाता है… ताकि क्लीनरूम का स्तर Class 1–100 ही बना रहे। दोहरावी प्रक्रियाओं हेतु, रिफ्लेक्टर की स्थिरता एवं ऊष्मा-प्रवाह की नियमितता ही महत्वपूर्ण है… ताकि तापमान हमेशा निर्धारित स्तर पर ही रहे।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में यह व्यवस्था क्यों कारगर है?
“सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में घोलों को हटाया जाता है, जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया में पॉलिमरों की संरचना निर्धारित की जाती है। इस रिफ्लेक्टर की वजह से, आईआर ऊर्जा पूरी सतह पर समान रूप से ही वितरित होती है… जिससे किनारों पर होने वाली त्रुटियाँ कम हो जाती हैं, एवं महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण बना रहता है। इससे पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, अपशिष्ट कम हो जाता है, एवं प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है। ऊर्जा-उपयोग भी कम हो जाता है… क्योंकि रिफ्लेक्टर ऊर्जा को केवल आवश्यक स्थानों पर ही वितरित करता है… बाकी ऊर्जा बर्बाद नहीं होती। यह व्यवस्था 24/7 कार्य हेतु ही बनाई गई है… फील्ड यूनिटें 5,000+ घंटों तक कार्य कर सकती हैं, एवं उत्पादन की गुणवत्ता भी निरंतर बनी रहती है।
संक्षेप में… यह व्यवस्था बेहतरीन है।
इसकी स्थापना हेतु लैंपों का सही तरीके से संरेखण एवं फोकल दूरी आवश्यक है। जब लैंप, रिफ्लेक्टर एवं सब्सट्रेट का स्तर एक ही प्रणाली के रूप में सेट हो जाता है, तभी ही आवश्यक मानक प्राप्त होते हैं। चैम्बर की ज्यामिति के अनुसार ही रिफ्लेक्टर को सही तरीके से स्थापित करें… एवं बेकिंग तापमान पर ऊष्मा-विस्तार की प्रक्रिया की जाँच भी आवश्यक है। रिफ्लेक्टर को उचित आईआर स्रोत के अनुरूप ही सेट करें… चाहे वह शॉर्ट-वेव हो या मीडियम-वेव। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, रिफ्लेक्टर की गुणवत्ता की नियमित जाँच आवश्यक है… ताकि दीर्घकालिक रूप से गुणवत्ता बनी रहे।