מפזר חימום לאידוי של Evatec

על רצפת המפעל, סטייה של 0.3°C בזמן אפיית הפוטורזיסט אינה “סטייה קטנה”. זו פגיעה בתפוקה. כאשר טמפרטורות האפייה הרכה והאפייה הקשה משתנות,...