על רצפת המפעל, סטייה של 0.3°C בזמן אפיית הפוטורזיסט אינה “סטייה קטנה”. זו פגיעה בתפוקה. כאשר טמפרטורות האפייה הרכה והאפייה הקשה משתנות, השליטה בממדים הקריטיים מתפוררת, וקו הייצור מפסיק לסמוך על הנתונים. פיתחנו את מנורת החימום של האידוי Evatec כדי להוציא את החוסר וודאות הזה מהמשוואה.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
מדובר בהקרנת תת-אדום קצר גל (SWIR) דרך קווארץ — חימום מהיר וישיר עם אינרציה תרמית נמוכה. מעל אזור התהליך, אחידות ברמת הלוח (wafer) נשמרת בטווח ±0.1°C, וחזרתיות נשמרת קבועה הודות לעומס פילמנט יציב ולספק כוח מבוקר. המערכת תואמת לחדרי נקיונות Class 1–100, מתוכננת ליצירת אפס חלקיקים, ומיועדת לפעולה רציפה 24/7 ללא תקלות בלתי מתוכננות. התוצאה היא תקציב תרמי שניתן לסמוך עליו, מחלקה אחרי מחלקה.
הנה הסיבה לכך שזה עובד בפועל.
בתחנות אידוי ואפיית פוטורזיסט, הזמן, הטמפרטורה ושליטת הזיהומים הם מערכת אחת. מנורת Evatec מגיעה במהירות לנקודת ההגדרה, שומרת על יציבות, ומתקררת ללא חציית ערכים — מה שמקצר את מחזור העבודה תוך שמירה על פרופיל הרזיסט. שליטה תרמית מדויקת מפחיתה עבודה חוזרת, מבזבזת פחות חומר, ומבטיחה ביצועי ליתוגרפיה יציבים במגוון מוצר. כמו כן, חיסכון באנרגיה מושג על ידי הימנעות מחימום יתר מיותר וממחזורי התאוששות, וחיי מנורה ארוכים מצמצמים את הפסקות התחזוקה.
כמה הערות מעשיות.
ההתקנה תלויה בהתאמת ממשק התאורה וגיאומטריית המראה לחלל התהליך — אופטיקות לא תואמות ייצרו נקודות חמות. לפני ההטמעה, יש לוודא תאימות מתח וקירור עם פלטפורמת האידוי שלך, ולתכנן החלפת מנורה סביב זמני הפסקה מתוכננים כדי לשמור על כיול תרמי תקין.
כשכל המרכיבים מתואמים, מתקבלת ביצועי אפייה עקביים — ללא השונות שבדרך כלל מתגלמת בשיטות חימום מסורתיות.