צפו בפס יבש יוצא משלב השטיפה הסופי. אם שלב הייבוש לא מתבצע כראוי, מופיעים סימני מים, שכבות תחתונות של הפוטורזיסט מתחילות להתקלף, והתפוקה נפגעת. בנינו את מנורת האינפרא-אדום ליבוש וופרות סיליקון כדי להסיר את המשתנה הזה.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
המנורה משתמשת באינפרא-אדום גל קצר כדי להעביר אנרגיה ישירות לסרט ולתת-הקרום. לאורך אזור האפייה, האחידות ברמת הוופר נשמרת בטווח ±0.1°C, כך שהטמפרטורות החשובות—אפייה רכה, אפייה קשה ואפייה לאחר מכן—נשמרות קבועות, מחזור אחרי מחזור.
המנורה מתאימה לחדרים נקיים בדרגות Class 1 עד Class 100. מעטפת הקוורץ והמתקנים בעלי פליטת גזים נמוכה מונעים עלייה במספר החלקיקים. עוצמת הפלט נשארת יציבה לאורך מעל 5,000 שעות עבודה, עם סטייה של פחות מ-5%, מה שמאפשר הפעלה רציפה 24/7.
מדוע היא מתאימה לקו הייצור
בתהליך הליתוגרפיה, לעיבוד הפוטורזיסט יש תקציב תרמי מוגבל. מנורה זו מגיעה לטמפרטורת היעד תוך שניות, והייצוב מהיר—מקצר את זמן המחזור מבלי לוותר על שליטה בפרופיל.
בתהליך האריזה, אותה צפיפות אנרגטית מזרזת את התקשות הציפוי והאדר-פיל, מה שמפחית את העומס על התנור ומקצר את זמן ההמתנה. בתהליך ניקוי וייבוש, אנרגיית האינפרא-אדום מושכת את הלחות שנותרה במיקרו-מבנים, ומשאירה את המשטח יבש וללא שאריות.
התוצאה היא פחות תיקונים חוזרים, רוחבי קווים שמחזיקים מעמד, והיצמדות שניתן לסמוך עליה.
מה צריך לבצע כראוי
ההתקנה מבוססת על התאמת המנורה למכונה שלך—מתח, מחבר, ופתח אופטי. יש לכוון את גאומטריית ההחזרה כדי למנוע היווצרות נקודות חמות על וופרות עם תבניות.
תכנן טיפול נקי ותקבע כיול אינטנסיביות כדי לשמור על אחידות הדוקה לאורך קמפיינים ארוכים. לאחר יישור נכון, התהליך נשאר במסגרת המפרט עם מינימום כיוונונים.