בחדרי הייצור, כמו שאתם יודעים, יש צורך בשליטה מדויקת על טמפרטורת החימום. שינוי קל בטמפרטורה, אפילו של חצי מעלה, יכול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הווה-טכנולוגי. חימום יתר גורם לא רק לבזבוז אנרגיה, אלא גם לפגיעה בחומר הפוטורזיסט. מה שנדרש הוא חימום אמין, שניתן לסמוך עליו, משלב לשלב, מכלי לכלי, ממחזור למחזור.
יצרנו את מודולי החימום על בסיס קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים. זה מאפשר תגובה מהירה ושליטה מדויקת. כך ניתן לשמור על אחידות בטמפרטורה ברמת ±0.1°C על כל שטח החימום, כך שכל תהליך חימום יתבצע בתוך הטווח המותר.
הפלטפורמה מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא מעוצבת כך שתוכל לייצר אפס חלקיקים. היא פועלת 24/7 ללא הפסקות בלתי צפויות. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהחום מועבר רק כשיש צורך בכך, עם אובדן מינימלי של אנרגיה וללא זמן המתנה.
בתהליך הליתוגרפיה, חימום עקבי שומר על עובי קבוע של הפוטורזיסט ומונע יצירת חלקיקים לא רצויים. טמפרטורה קבועה בחימום הקשה שומרת על הפרופילים בתוך הטווח המותר, מה שמפחית את כמות הבזבוז והעבודה החוזרת.
אותה פלטפורמה מאפשרת גם ניקוי וייבוש של הווה-טכנולוגי, מבלי לגרום לזיהום, ושומרת על רמת חלקיקים נמוכה. כך ניתן להשיג זמני עיבוד מהירים יותר, תשואה גבוהה יותר, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל וה-טכנולוגי שעובר עיבוד – מבלי לפגוע בדיוק התרמי.
הנה הפרטים הפרקטיים: ההתקנה כוללת התאמת המתח והחיבורים של המכשיר, ולאחר מכן בדיקת החיבור התרמי במהלך הבדיקות. המודול קומפקטי, אך יש להשאיר מקום לזרימת אוויר ולגישה לתחזוקה.
צפו לזמן הכנה קצר כדי להתאים את ההגדרות לסוג הפוטורזיסט שמשמש. לאחר שההגדרות נקבעו, התהליך יישאר יציב, משלב לשלב.