על גבי משטח הוופר, טמפרטורת החימום של הפוטורזיסט אינה עניין של המלצה – זו דרישה בלתי ערבותית. אם טמפרטורת החימום תסטה בחצי מעלה, ניתן יהיה לראות את ה-CDs נעים. זה יגרום לבזבוז של חומרים וצורך בעבודות תיקון. לכן קיימת למעשה נורת חימום לחצאי-עוצמה – כדי לשמור על רמת החום הרצויה.
מה חשוב מבחינה טכנית?
בנינו את הנורה הזו כך שתספק חימום מהיר וחוזר על עצמו, תוך שמירה על אחידות גבוהה. הרכיב האינפרא-אדום בעל גל אור קצר פועל רק כשנדרש, ובקרה בלולאה סגורה שומרת על יציבות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C על פני כל שטח החימום. אפשרות ההפחתה של עוצמת האור מאפשרת שליטה בכמות האנרגיה שנצרכת, כך שניתן לעמוד בדרישות התהליך באופן מדויק – חימום קל, חימום חזק, וכו’ – מבלי להחליף ציוד.
המעטפת העשויה קוורץ והעיצוב המתאים לחדרים נקיים מיועדים לשימוש בסביבות מסוג Class 1–100, עם פליטה נמוכה של חומרים וללא יצירת חלקיקים במהלך הפעולה.
למה זה עובד בתהליכי ליתוגרפיה?
בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, האיכות תלויה בהיסטוריה התרמית העקבית של החומרים. הנורה הזו מפחיתה את השונויות בין הלוטים השונים, ומשפרת את האחידות ביניהם, מה שמפחית את רמת הפגמים. פחות שינויים = איכות גבוהה יותר. פחות זמן עצירה בלתי מתוכנן.
וכן, צריכת האנרגיה יורדת. הנורה צורכת רק את הכמות הנדרשת לפי ההוראות, ולא אנרגיה מלאה כמו במקרים אחרים.
הפרטים המעשיים
הנורה מתאימה לציוד החימום הסטנדרטי לחצאי-עוצמה, אך יש להתחשב במסה התרמית של הציוד ובמיקום החיישנים. יש להתאים אותה לגאומטריה של החדר כדי להשיג את רמת האחידות הרצויה.
בנוסף, יש לחבר את הנורה למערכת החשמלית של הציוד, כדי למנוע שגיאות במדידות. יש לתכנן את ההתקנה בהתאם לזמן הזמין לכך – זמן ההתקנה קצר, אך היישור והכיול הם הדברים החשובים ביותר.