
تنظیم دمای مناسب برای شستشوی ویفرها
هنگام شستشوی ویفرها، در واقع با زمان میجنگید. لازم است که رطوبت از روی ویفرها حذف شود؛ اما نمیتوان از گرما برای این کار استفاده کرد، چون در غیر این صورت سطح ویفر خراب خواهد شد.
برای انجام این کار، از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم. اما راز واقعی، استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلاست. بدون این بازتابندهها، بخش زیادی از انرژی حرارتی در بدنه دستگاه هدر میرود؛ این کار باعث هدررفت انرژی و زمان میشود.
چرا طلا؟
اکثر افراد از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما این بازتابندهها مقدار زیادی انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. طلا متفاوت است؛ این ماده توانایی بسیار خوبی در بازتاب نور مادون قرمز به سمت ویفرها دارد.
میتوانید آن را مانند تمرکز انرژی در نظر بگیرید؛ به جای استفاده از لامپهای بیشتر، از لامپهای موجود استفاده میکنید تا انرژی بیشتری در محل مورد نظر تولید شود.
مقابله با مشکلات ناشی از رطوبت
مشکل اینجاست که این لامپها در محیطی مرطوب قرار دارند؛ رطوبت در همه جا وجود دارد و سعی میکند وارد لامپ شود. اگر رطوبت وارد پوشش کوارتزی لامپ شود، لامپ خراب خواهد شد. بنابراین باید به آببندیها توجه ویژه کرد؛ اگر آببندیها مناسب نباشند، در واقع در انتظار خرابی دستگاه هستیم.
توازن واقعی
باید صادق باشیم؛ طلا گران است. هزینه اولیه استفاده از طلا بالاتر از استفاده از آلومینیوم خواهد بود. اما در نهایت، میتوانید از این پول صرفهجویی کنید؛ چون مصرف انرژی کمتر خواهد بود.
فقط یک نکته: باید این لامپها را تمیز نگه داشت؛ اگر مواد شیمیایی روی آنها تجمع کند یا طلا شروع به اکسید شدن کند، بازتابندگی لامپ کاهش خواهد یافت. در این صورت، مجبور خواهید بود میزان انرژی مصرفی را افزایش دهید؛ این کار باعث تخریب ویفرها خواهد شد.
بنابراین، باید به روال تمیزکاری دقیقی پایبند باشید؛ این کار کمی زمان میخواهد، اما به حفظ انرژی و سلامت ویفرها کمک میکند.