دیگر نیازی نیست از لامپهای معمولی برای گرم کردن تجهیزات خود استفاده کنید؛ راه حل بهتر، استفاده از لامپهای مسی پوشیده شده با طلاست.
اگر تا به حال در کارخانههای تولید تراشه فعالیت کردهاید، میدانید که چقدر چالشبرانگیز است. باید ویفر را گرم کنید، اما نمیخواهید سایر قسمتهای دستگاه نیز گرم شوند.
بیشتر لامپهای مادون قرمز، گرما را در همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث هدررفت انرژی میشود. علاوه بر این، این لامپها باعث میشوند قسمتهای داخلی دستگاه به شدت گرم شوند.
ما راه بهتری برای حل این مشکل پیدا کردهایم؛ استفاده از لامپهای مسی پوشیده شده با طلا.
نحوه کارکرد این لامپها
فکر کنید به یک لامپ کوارتز معمولی؛ این لامپ گرما را در همه جهات پخش میکند. حالا تصور کنید که نیمه پشتی این لامپ را با لایه نازکی از طلا بپوشانیم؛ در این صورت، پشت لامپ به یک آینه تبدیل میشود. در نتیجه، انرژی به جای ریختن در سایر قسمتهای دستگاه، مستقیماً به سمت هدف هدایت میشود.
نتیجه؟ پرتو گرمایی متمرکز در دقیقاً همان نقطهای که نیاز دارید. در همین حال، پشت لامپ نسبتاً خنک باقی میماند. دیگر نیازی نیست از فنهای بزرگ یا عایقهای ضخیم برای جلوگیری از گرم شدن دیوارههای دستگاه استفاده کنید.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید
این روش دارای معایبی نیز هست؛ چون پرتو گرمایی بسیار قوی است، معمولاً میتوانید میزان واتهای لامپ را کاهش دهید و باز هم به دمای مورد نظر برسید.
اما، انرژی متمرکز شده، ویفر را به شدت گرم میکند؛ بنابراین باید کنترلرهای PID را تنظیم کنید. در غیر این صورت، ریسک بیش از حد گرم شدن ویفر وجود دارد.
ما از کوارتز با خلوص بالا برای ساخت این لامپها استفاده میکنیم؛ تا طلا در اثر تغییرات دما پوسته نخورد. همچنین، اگر قصد استفاده از این لامپها در دستگاههای قدیمی را دارید، حتماً جایگاههای لامپها را بررسی کنید؛ لایه طلا باعث افزایش کمی ضخامت لامپ میشود؛ اگر لامپ به درستی قرار نگیرد، نقاط گرم در سطح لامپ ایجاد خواهد شد.
چرا این موضوع اهمیت دارد؟
خنک نگه داشتن دیوارههای داخلی دستگاه، فقط برای صرفهجویی در هزینههای برق نیست؛ بلکه برای جلوگیری از سوختن دستگاه نیز مهم است.
وقتی که دستگاه خنک باقی میماند، تعمیرات آن برای اپراتورها کمتر دشوار خواهد بود. همچنین، سیمها و سنسورهای داخلی دستگاه نیز در معرض گرمای بیش از حد قرار نخواهند گرفت.
در نتیجه، قطعات دستگاه مدت زمان بیشتری دوام خواهند آورد؛ شما نیز زمان کمتری را صرف تعمیر قطعات خراب خواهید کرد و زمان بیشتری را صرف اجرای فرآیندهای تولیدی خواهید کرد.