در کف لیتوگرافی، یکنواختی دمای نرمپخت یک گزینه نیست—این یک مشخصه است. نوسان ۱ درجه سانتیگراد در سطح ویفر میتواند ابعاد بحرانی را تغییر دهد، پروفایلهای دیواره جانبی را خراب کند و در هر بار تولید، بازده را کاهش دهد. ما لامپهای نرمپخت مادون قرمز خود را طراحی کردیم تا این تغییرپذیری را از معادله حذف کنیم. هسته این لامپها گرمایش تابشی مادون قرمز نزدیک (NIR) است که طوری تنظیم شده که انرژی را مستقیماً به فوتورزیست وارد کند بدون اینکه فیلمهای زیرین را بسوزاند. یکنواختی در سطح ویفر در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سطح پخت حفظ میشود و تکرارپذیری در هر بار تولید، شیفت به شیفت حفظ میشود. مجموعه لامپ آماده برای اتاق تمیز است، با تولید صفر ذره تأیید شده تا محیطهای کلاس ۱–۱۰۰. تأمین انرژی پایدار میماند و پس از ۵۰۰۰+ ساعت، کمتر از ۵٪ تغییر میکند و پروفایل حرارتی حتی زمانی که لامپها را تعویض میکنید، تکرارپذیر باقی میماند. این موضوع در تولید اهمیت دارد: نرمپخت پروفایل حذف حلال را تعیین میکند که جریان فوتورزیست، چسبندگی و دامنه تابش بعدی را مشخص میکند. کنترل حرارتی دقیق باعث کاهش کار مجدد، کوتاه شدن چرخههای تأیید و کاهش مصرف انرژی با از بین بردن زمان توقف و افزایش دما میشود. شما حاشیه فرآیند را بازیابی میکنید و توقفهای غیرمنتظره ناشی از نوسانات دما را کاهش میدهید. نصب به تنظیم دقیق همراستایی نوری و مسیر خروجی هوا بستگی دارد تا ذرات کنترل شوند. لامپ را با هندسه محفظه و جرم حرارتی حامل مطابقت دهید—وگرنه، گرادیانهای لبه تا مرکز میتوانند دوباره ظاهر شوند، حتی با یکنواختی ذاتی لامپ. وات، ولتاژ و رابط اتصال مناسب برای پلتفرم خود را مشخص کنید و یک آزمایش پذیرش سایت انجام دهید که دما را در سرتاسر ناحیه پخت نقشهبرداری کند، نه فقط در نقطه مرکزی.