کاهش انتشار کربن در فرآیندهای تولید: چرا استفاده از حرارت مادون قرمز واقعاً مؤثر است
هماکنون، تمام کارخانههای تولیدی در تلاش برای رسیدن به اهداف مربوط به بیاثر کردن انتشار کربن هستند. این موضوع فشار زیادی را به آنها وارد میکند. بخش بزرگی از مشکلات ناشی از هدر رفت انرژی است؛ بهویژه در حین گرم کردن و پختن ویفرها.
بیشتر ما هنوز از محرکهای حرارتی سنتی استفاده میکنیم، اما در واقع، این روشها کارایی لازم را ندارند. ما افراد را به سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز سوق دادهایم؛ زیرا این لامپها به شیوهای متفاوت عمل میکنند. آنها به جای گرم کردن کل هوای اتاق، مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارند.
منطق استفاده از این لامپها بسیار ساده است.
لامپهای حرارتی معمولی مانند روشی هستند که برای گرم کردن یک فنجان قهوه، کل خانه را گرم میکنند؛ این کار کاملاً بیفایده است. سیستمهای مادون قرمز از تابش مستقیم استفاده میکنند؛ انرژی از فیلامنت به سطح ویفر به سرعت منتقل میشود.
این روش بسیار سریع است.
از آنجایی که زمان لازم برای گرم شدن ویفر بسیار کوتاه است، میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر نیز کمتر خواهد بود. علاوه بر این، از آنجایی که اتاق تبدیل به فر نمیشود، سیستمهای تهویه و سرمایش نیز نیازی به کار بیشتری نخواهند داشت.
حالا بیایید درباره جنبههای فنی صحبت کنیم.
ما این لامپها را با چگالی وات بالا طراحی کردهایم؛ موجهای کوتاه مادون قرمز میتوانند به عمق بیشتری در مواد ویفر نفوذ کنند؛ این موضوع یک مزیت بزرگ است، زیرا میتوان در دماهای پایینتر نیز به همان نتایج دست یافت.
اما مشکل اینجاست: باید مراقب منبع تغذیه لامپها باشید. این لامپها در همان لحظه روشن شدن، مقدار زیادی جریان الکتریکی مصرف میکنند؛ اگر سیستم تغذیه شما برای این میزان جریان آماده نباشد، ممکن است سوئیچها مدام خاموش شوند. حتماً مطمئن شوید که سیستم الکتریکی شما میتواند این میزان جریان را تحمل کند.
نحوه استفاده از این لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی استفاده کرد؛ نیازی به بازسازی کل سیستم نیست. ما از غلافهای کوارتزی برای لامپها استفاده کردهایم تا لامپها تحت تأثیر حرارت تغییر شکل ندهند؛ همچنین، اتصالات لامپها نیز استاندارد هستند؛ این موضوع تعویض لامپها را بسیار آسان میکند.
اما باید صادقانه بگویم که یک معایبی نیز وجود دارد. برخلاف عناصر حرارتی که میتوان سالها از آنها استفاده کرد، لامپهای مادون قرمز نیز دارای زمان استفاده مشخصی هستند؛ در نهایت، این لامپها خراب خواهند شد.
نمیتوانید فقط آنها را روشن کنید و فراموش کنید؛ باید برنامهریزی مناسبی برای تعویض لامپها داشته باشید. اگر لامپها کمکم کمنور شوند، دمای ویفر نیز کاهش خواهد یافت و بازدهی تولید نیز کاهش خواهد یافت.
توصیه من این است: یک جعبه پر از لامپهای یدکی در محل کار نگه دارید؛ بهتر است که لامپهای یدکی در دسترس باشند، تا اینکه کل خط تولید متوقف شود در حالی که منتظر تحویل لامپهای جدید هستید.