Využití teplových systémů pro zahřívání waferech co nejlépe
Když pracujete s vozícími zařízeními používanými v čistých prostorách určených k zpracování polovodičů, nejde jen o to „nahřát věci“. Jde o to přivést energii přesně tam, kam je potřeba – přímo na povrch waferu.
Většina lidí používá běžné kvartové lampy, ale ty vyzařují teplo do všech směrů. Bez správného plánování polovina energie prostě zmizí v konstrukci vozíku. Je to prostě plýtvání energií.
Proto používáme reflektory pokryté zlatem.
Kouzlo zlata
Zlato je skvělé pro infračervené vlnové délky – odráží více než 98 % této energie. Přidáním tenké vrstvy zlata na obal zabráníme tomu, aby fotony unikly, a odrážíme je zpět k waferu. Tím se rozptýlené světlo mění v soustředěný paprsek. Dosáhnete tak mnohem vyšší hustoty tepla na povrchu waferu, což znamená, že nemusíte zvyšovat výkon, abyste dosáhli požadovaného efektu.
Rychlost versus kontrola
Hlavní výhodou je rychlost – dosáhnete požadovaných teplot mnohem rychleji, což zkracuje dobu potřebnou k dosažení požadované teploty.
Ale existuje i háček. Protože je energie tak koncentrovaná, vaše wafery se rychle zahřejí. Pokud vaše regulátory PID nejsou nastaveny tak, aby odpovídaly této úrovni energie, dosáhnete nadpožadované teploty. Je tedy důležité pečlivě zkontrolovat kalibraci senzorů, abyste náhodou nezpůsobili poškození okrajů waferů.
Pracování v čistých prostorách
Víme, že v transportních vozících je málo místa, proto udržujeme velikost zařízení co nejmenší. Také pečlivě uzavíráme zlatou vrstvu – žádné odlupování, žádný kovový prach, žádné kontaminace v čistých prostorách.
Navíc to snižuje náklady na elektřinu. Když tyto zařízení připojíte ke zdroji napájení, všimnete si, že spotřeba elektrické energie klesne, zatímco teplota povrchu zůstane přesně tam, kde má být. Je to jednoduchý způsob, jak ulehčit zátěž elektrické sítě vaší továrny.