ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি তো জানেনই কী অবস্থা থাকে। বেকিং তাপমাত্রায় অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনও উত্পাদনের গুণমানকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে প্রভাবিত করতে পারে—আর এর ফলে উত্পাদনটি নষ্ট হয়ে যায়। ওয়েফার টুলের তাপমাত্রা সেন্সরগুলো কোনো অতিরিক্ত যন্ত্র নয়; এগুলোই লিথোগ্রাফি, ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়া, ওয়েফার পরিষ্কার করার প্রক্রিয়াগুলোর জন্য তাপীয় নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করে। যখন তাপমাত্রা সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রিত না হয়, তখন উৎপাদন বন্ধ হয়ে যায়।
আমরা এই সেন্সরগুলো তৈরি করেছি যাতে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; এছাড়া এগুলো দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়। সেন্সিং ইউনিটটি ক্লিনরুম-সংগত কনটেইনারে থাকে; এটা Class 1–100 মানদণ্ড মেনে চলে। উপকরণগুলো এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে গ্যাস নির্গমন না হয় এবং কণা উৎপন্ন না হয়। এর আউটপুট ২৪/৭ স্থিতিশীল থাকে; বাস্তব সময়ে তাপমাত্রার পরিবর্তন চিহ্নিত করে অপ্রয়োজনীয় বন্ধের সময় কমানো হয়। হাজারো চক্র ধরেও এটা স্থিতিশীল থাকে।
ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায়, “সফট বেক” পদ্ধতিতে দ্রবণের গুণমান নির্ধারিত হয়; আর “হার্ড বেক” পদ্ধতিতে ছবিটি স্থায়ী হয়। কঠোর তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের ফলে পুনরাবৃত্তি কমে যায়, কণা উৎপন্ন হওয়া কমে যায়, এবং শক্তি ব্যবহারও কমে যায়। ওয়েফার পরিষ্কার ও শুকানোর ক্ষেত্রেও এই নির্ভুলতার ফলে পৃষ্ঠের শক্তি স্থিতিশীল থাকে; ফলে শুকানোর প্রক্রিয়া সুষ্ঠু হয় এবং ত্রুটিগুলো কমে যায়।
স্থাপনের ক্ষেত্রে নির্দিষ্ট মানদণ্ড রয়েছে। সেন্সরটি অবশ্যই হট জোনের তাপীয় কেন্দ্রে থাকতে হবে; আর এটাকে টুলের কানেক্টর ও মাউন্টিং ইন্টারফেসের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হতে হবে। PID সেটিংস ঠিক করতে এবং ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রার সমতা নিশ্চিত করতে অল্প সময় লাগবে। উচ্চ আর্দ্রতার পরিবেশে কানেক্টরের সিলিং যাচাই করা উচিত; আর ±0.1°C মানদণ্ড বজায় রাখতে নিয়মিত ক্যালিব্রেশন করা প্রয়োজন।