ওয়েফারটি চূড়ান্ত রিন্স থেকে বেরিয়ে আসার সময় পর্যবেক্ষণ করুন। শুকানোর ধাপটি সঠিকভাবে সম্পন্ন না হলে, ওয়াটারমার্ক তৈরি হয়, ফটোরেসিস্টের আন্ডারলেয়ার ডেলামিনেট হতে শুরু করে, এবং উৎপাদন হ্রাস পায়। আমরা আমাদের সিলিকন ওয়েফার শুকানোর ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি এমনভাবে ডিজাইন করেছি যে এই পরিবর্তনশীলতা দূর হয়।
যা গুরুত্বপূর্ণ
এটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করে সরাসরি ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটে শক্তি প্রেরণ করে। বেক জোন জুড়ে, ওয়েফার-স্তরের ইউনিফর্মিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, তাই প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা—সফট বেক, হার্ড বেক, এবং পোস্ট-বেক—প্রতিবার একই থাকে, এক রান থেকে অন্য রান পর্যন্ত।
এটি ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পর্যন্ত ক্লিনরুমে ফিট হয়। কোয়ার্টজ এনভেলপ এবং লো-আউটগ্যাসিং ফিক্সচারগুলি কণার সংখ্যা বাড়তে দেয় না। আউটপুট 5,000+ ঘন্টা ধরে স্থিতিশীল থাকে, 5% এর নিচে ইন্টেনসিটি ড্রিফট সহ, ফলে এটি ২৪/৭ অপারেশন পরিচালনা করতে পারে।
কেন এটি ফ্লোরে মানানসই
লিথোগ্রাফিতে, ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় তাপীয় বাজেট সীমাবদ্ধ। এই ল্যাম্প সেকেন্ডের মধ্যে লক্ষ্য তাপমাত্রায় পৌঁছায়, এবং সেটলিং দ্রুত হয়—সাইকেল টাইম কমায় কিন্তু প্রোফাইল নিয়ন্ত্রণ বজায় রাখে।
প্যাকেজিংয়ে, একই শক্তি ঘনত্ব এনক্যাপসুল্যান্ট এবং আন্ডারফিল কারিং দ্রুততর করে, যা ওভেনের লোড কমায় এবং অপেক্ষার সময় হ্রাস করে। 清洗干燥 এর জন্য, ইনফ্রারেড শক্তি মাইক্রোস্ট্রাকচারের অবশিষ্ট আর্দ্রতা বের করে, যার ফলে পৃষ্ঠ শুষ্ক এবং অবশিষ্ট মুক্ত থাকে।
ফলস্বরূপ, পুনরায় কাজের সংখ্যা কমে যায়, লাইনওয়াইড ধারাবাহিক থাকে, এবং আঠালোতা নির্ভরযোগ্য হয়।
যা সঠিক করতে হবে
ইনস্টলেশন ল্যাম্প এবং মেশিনের মিলানেই নির্ভর করে—ভোল্টেজ, কানেক্টর, এবং অপটিক্যাল এপারচার। রিফ্লেকশন জ্যামিতি ঠিকঠাক করতে হবে যাতে প্যাটার্নযুক্ত ওয়েফারে হট স্পট রান্না না হয়।
পরিষ্কারভাবে হ্যান্ডলিং পরিকল্পনা করুন এবং দীর্ঘ ক্যাম্পেইনের সময় ইউনিফর্মিটি বজায় রাখতে ইন্টেনসিটি ক্যালিব্রেশন সময়সূচী করুন। একবার সঠিকভাবে সমন্বয় হলে, প্রক্রিয়া নির্দিষ্ট স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে এবং খুব কম মেরামত লাগে।