লাইনে, ফটোরেজিস্ট কোনো ধরনের ত্রুটি সহ্য করে না। সামান্যতম তাপমাত্রা-সংক্রান্ত ত্রুটিও CD-এর কার্যকারিতাকে ব্যাহত করে; ফলে পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াজুড়ে ত্রুটি খুঁজে বের করতে হয়। এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্যই আমরা DNS স্ক্রিন ওয়েফার ড্রায়ার ল্যাম্পটি তৈরি করেছি।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠে ±0.1°C তাপমাত্রা বজায় থাকে; ফলে প্রতিটি অঞ্চলে একই তাপমাত্রা বজায় থাকে। ক্লিনরুমের পরিবেশও গুরুত্বপূর্ণ—ক্লাস 1–100 ধরনের ক্লিনরুমগুলোতে কোনো ধরনের ধূলিকণা থাকে না; কারণ অ্যাসেম্বলি প্রক্রিয়ায় কোনো ধূলিকণা উৎপন্ন হয় না। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি সাবস্ট্রেটকে উত্তপ্ত করে; ফলে উত্তপন্ন হওয়ার প্রক্রিয়া দ্রুত হয় এবং অপ্রয়োজনীয় শক্তি কমে যায়। কোয়ার্টজ-এনক্যাপসুলেটেড ইমিটারটি ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য নির্ধারিত তাপমাত্রায় স্থিতিশীল থাকে; আর কন্ট্রোল লুপটি প্রতিবারই একই মান বজায় রাখে।
লিথোগ্রাফিতে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফিতে ড্রায়ার ল্যাম্পটি তাপমাত্রাকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে লাইনের প্রস্থে কোনো পরিবর্তন হয় না এবং পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন হয় না। সেটপয়েন্টে পৌঁছানোর সময়ও কম লাগে; আর ফটোরেজিস্টের আঠালোতা কমে যায় না। ক্লিন থার্মাল প্রোফাইলের কারণে বড় পরিমাণে উৎপাদন করার সময়ও উৎপাদনের গুণমান বজায় থাকে। ফলে কম অপচয়, কম খরচ, এবং ফ্যাক্টরিতে ব্যবহৃত মেশিনগুলোর মধ্যে সামঞ্জস্য বজায় থাকে।
ইনস্টলেশন ও রক্ষণাবেক্ষণ সংক্রান্ত নোট
ইনস্টলেশনের সময় টুলের ইন্টারফেসটি সঠিকভাবে সামঞ্জস্য করতে হয়; আর ল্যাম্প এলাকাটিকে নেগেটিভ প্রেশারে রাখতে হয়। ল্যাম্পটি ২৪/৭ ঘণ্টা কাজ করার জন্য তৈরি করা হয়েছে; কিন্তু যেকোনো প্রিসিশন থার্মাল সোর্সের মতো, এটি সবচেয়ে ভালোভাবে কাজ করে যখন পাওয়ার সাপ্লাই ও কুলিং সিস্টেমগুলো নির্ধারিত মান অনুযায়ী থাকে। দীর্ঘমেয়াদে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে নিয়মিতভাবে ল্যাম্প প্রতিস্থাপন করা প্রয়োজন।