লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, সফট বেক তাপমাত্রার একরূপতা একটি পছন্দ নয়—এটি একটি স্পেসিফিকেশন। একটি 1°C পরিবর্তন ওয়াফারের গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি স্থানান্তরিত করতে পারে, সাইডওয়াল প্রোফাইল নষ্ট করতে পারে এবং প্রতি ব্যাচে ফলন কমিয়ে দিতে পারে। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড সফট বেক ল্যাম্পগুলি এই পরিবর্তনশীলতাকে সমাধান করতে তৈরি করেছি।
কোরটি নিকট-ইনফ্রারেড (NIR) রেডিয়েন্ট হিটিং, যা ফটোরেজিস্টে সরাসরি শক্তি স্থানান্তর করতে টিউন করা হয়েছে এবং নিচের ফিল্মগুলিকে রান্না করতে দেয় না। ওয়াফার স্তরের একরূপতা বেক পৃষ্ঠের উপর ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, এবং পুনরাবৃত্তি প্রতি ব্যাচ, শিফট অনুযায়ী স্থির থাকে। ল্যাম্পের সমাহারটি ক্লিনরুমের জন্য প্রস্তুত, যেখানে শূন্য কণার উৎপাদন ক্লাস 1–100 পরিবেশের জন্য নিশ্চিত করা হয়েছে। পাওয়ার ডেলিভারি স্থিতিশীল থাকে, 5,000+ ঘণ্টার পরে 5% এর নিচে চলে যায়, এবং তাপীয় প্রোফাইল ল্যাম্প পরিবর্তন করার সময়ও পুনরাবৃত্তি থাকে। এটি উৎপাদনে কেন গুরুত্বপূর্ণ: সফট বেক দ্রাবক অপসারণের প্রোফাইল সেট করে যা ফটোরেজিস্ট প্রবাহ, আঠালোতা, এবং পরবর্তী এক্সপোজার ল্যাটিচিউড নির্ধারণ করে। সংকীর্ণ তাপীয় নিয়ন্ত্রণ পুনরায় কাজ কমায়, যোগ্যতা চক্র সংক্ষিপ্ত করে, এবং ডোয়েল সময় এবং তাপমাত্রার অতিরিক্ততা কমিয়ে শক্তির ব্যবহার কমায়। আপনি প্রক্রিয়ার মার্জিন পুনরুদ্ধার করেন, এবং তাপমাত্রার পরিবর্তনের কারণে অপ্রত্যাশিত বিরতি কমান। স্থাপনাটি অপটিক্যাল অ্যালাইনমেন্ট এবং এক্সস্ট রাউটিংয়ে নিখুঁত হওয়ার উপর নির্ভর করে যাতে কণাগুলি নিয়ন্ত্রণে থাকে। ল্যাম্পটি চেম্বার জিওমেট্রি এবং ক্যারিয়ারের তাপীয় ভর অনুযায়ী মেলান—অন্যথায়, এজ-টু-সেন্টার গ্রেডিয়েন্টগুলি ফিরে আসতে পারে, ল্যাম্পের অন্তর্নিহিত একরূপতা থাকা সত্ত্বেও। আপনার প্ল্যাটফর্মের জন্য সঠিক ওয়াটেজ, ভোল্টেজ, এবং সংযোগকারী ইন্টারফেস নির্ধারণ করুন, এবং একটি সাইট অ্যাক্সেপ্টেন্স টেস্ট চালান যা পুরো বেক জোন জুড়ে তাপমাত্রা ম্যাপ করে, কেবল কেন্দ্রীয় পয়েন্ট নয়।