في هذه المرحلة، يتم وضع رقاقة الـ 300 مم في الفرن لإجراء عملية التسخين الخفيف، وذلك لضمان التحكم في عرض خطوط الرقاقة. إذا حدث أي تغيير طفيف في درجة حرارة الفرن، فإن توزيع الحرارة على سطح الرقاقة سيتأثر، وبالتالي قد تصبح الرقاقة غير صالحة للاستخدام. لذلك، نستخدم مُسخّنات للأشباه الموصلات في هذه المرحلة، لأن الأداء الحراري في هذا المجال ليس مجرد مواصفة كتابية، بل هو جزء أساسي من عملية الإنتاج.
ما يهم من الناحية التقنية: نحافظ على توزيع الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، مما يسمح بالحصول على درجة حرارة مستقرة أثناء عمليات التسخين. المواد المستخدمة في صناعة هذه المُسخّنات مناسبة للبيئات النظيفة، ومصممة للحد من تكون الجسيمات والغازات في بيئات من الدرجة 1 إلى 100. التحكم الدقيق في درجة الحرارة يقلل من التغيرات في درجة الحرارة، بحيث تحصل كل رقاقة على نفس درجة الحرارة في كل مرة.
لماذا يعمل هذا النظام في الإنتاج الفعلي: في مصانع الطباعة الضوئية، يعتبر التحكم المستمر في درجة الحرارة أمرًا ضروريًا للحفاظ على جودة الإنتاج. يساعد ذلك في الحصول على توزيع متساوٍ للحرارة، وتقليل عدد عمليات إعادة الإنتاج، بالإضافة إلى تقليل العيوب في الرقاقات. كما أن المُسخّنات لا تسبب أي تلوث أو تغيرات في درجة الحرارة. يتم تصميم هذه المُسخّنات للعمل على مدار 24 ساعة بشكل مستمر، مما يقلل من وقت التوقف غير المخطط له وتكاليف الصيانة. يتم توزيع الحرارة بكفاءة، مما يسمح بالعمل في درجات حرارة منخفضة مع الحفاظ على الدقة.
التفاصيل التي تجعل هذا النظام فعالًا: التركيب بسيط، لكن يجب مطابقة المُسخّن مع مواصفات الأداة من حيث الهيكل الميكانيكي ومصدر الطاقة واستراتيجية التحكم. يجب تحديد نوع الموصلات والجهد المطلوب، وإلا فقد يحدث خلل في مسارات التيار والتواصل الحراري. كما يجب التخطيط لعمليات الصيانة الدورية. حتى أكثر المُسخّنات استقرارًا تحتاج إلى فحوصات دورية للحفاظ على كفاءتها.