في قسم التصنيع، كما تعلمون، فإن أي تغيير بسيط في درجة الحرارة قد يؤثر على الأبعاد الحرجة للرقائق. أما الحرارة العالية جدًا فهي لا تدمر الطاقة فحسب، بل تدمر أيضًا المواد المستخدمة في عملية الطباعة. ما نحتاجه هو حرارة مستقرة، يمكن الاعتماد عليها في كل مرة، وفي كل أداة، وفي كل دفعة من الرقائق.
لقد صممنا وحدات التسخين باستخدام أشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير. هذا يوفر استجابة سريعة وتحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة. وهذا بدوره يضمن توزيعًا متساويًا لدرجة الحرارة على سطح الرقيقة، بحيث تظل درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وبالتالي تظل عمليات التسخين ضمن الحدود المحددة.
تتناسب هذه الوحدات مع غرف العمليات من الفئة 1 إلى 100، كما أنها مصممة لتوليد لا شيء من الجسيمات. تعمل هذه الوحدات على مدار 24 ساعة في اليوم، دون أي توقف غير مخطط له. كما أن استهلاك الطاقة يقل، لأن الحرارة يتم توفيرها حسب الحاجة، مما يقلل من الخسائر الناتجة عن الانتظار أو الوقت الزائد لتسخين الوحدات.
في عملية الطباعة، يساعد التسخين المستمر في الحفاظ على سمك المواد المستخدمة في الطباعة ثابتًا، كما يقلل من تكون الجسيمات على حواف الرقيقة. كما أن درجة الحرارة المستقرة أثناء عملية التسخين تضمن أن تظل الخصائص المطلوبة للرقيقة ثابتة، مما يقلل من النفايات والحاجة إلى إعادة العمل.
كما أن هذه الوحدات تساعد في تنظيف وتجفيف الرقائق دون إضافة أي جسيمات، مما يضمن الحفاظ على مستوى الجسيمات في حدود معينة. وهذا بدوره يؤدي إلى تقليل وقت المعالجة، وزيادة الكفاءة، وتقليل استهلاك الطاقة لكل رقيقة معالجة، دون التضحية بالدقة الحرارية.
إليكم التفاصيل العملية: يتطلب التركيب مطابقة جهد الأداة وواجهة الاتصال بها، ثم التأكد من توصيل الحرارة بشكل صحيح أثناء عملية الاختبار. الوحدة صغيرة الحجم، لكن يجب توفير مساحة كافية لتدفق الهواء وسهولة الصيانة.
يُتوقع أن يستغرق التشغيل الأولي وقتًا قصيرًا لضبط الإعدادات حسب خصائص المواد المستخدمة في الطباعة. بمجرد الانتهاء من الضبط، تظل الوحدة تعمل بشكل مستقر، من مرة إلى أخرى.