半导体洁净室推车式加热器

如何最大限度地利用晶圆加热功能 在处理半导体洁净室中的传送装置时，我们并非只是想要“加热物体”。实际上，关键在于将能量精确地传递到需要的地方——也就是晶圆表面。 大多数人使用的是普通石英灯，但这类灯会将热量向各个方向散发。如果没有合理的规划，一半的能量都会浪费在传送装置的框架上。这无疑是一种能源的...