Thiết bị dây chuyền sản xuất wafer
Trên sàn sản xuất, bước nung photoresist không chỉ là một bước kiểm soát nhiệt độ. Nó là một giới hạn dung sai.
Biến động 2°C sẽ làm dịch chuyển sai...
Máy sưởi hồng ngoại tùy chỉnh cho wafer
Trên sàn litho, một sai lệch 0,5°C trong quá trình nung photoresist không phải là một “lỗi nhỏ.” Đó là một wafer bị loại bỏ, một lớp mask bị hỏng và...