Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, chất cảm quang rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ. Ngay cả một sự sai lệch nhỏ trong nhiệt độ cũng có thể làm mất kiểm soát quá trình xử lý chất cảm quang, khiến người ta phải tìm kiếm các khuyết tật trên toàn bộ bề mặt wafer. Chúng tôi đã chế tạo thiết bị sấy wafer DNS để loại bỏ những biến động nhiệt độ này.
Điều quan trọng là gì? Nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer phải được duy trì ở mức ±0,1°C. Nhờ đó, mỗi khu vực được xử lý sẽ nhận được cùng một lượng nhiệt như nhau. Khả năng hoạt động trong môi trường sạch cũng rất quan trọng; các khu vực thuộc cấp độ sạch từ 1 đến 100 vẫn giữ được mức số lượng hạt bụi ở mức cho phép, vì thiết bị không tạo ra quá nhiều hạt bụi trong quá trình vận hành. Ánh sáng hồng ngoại ngắn bước sóng giúp làm nóng bề mặt wafer một cách nhanh chóng, giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng khi máy không hoạt động. Bộ phát sáng được bọc trong thủy tinh sapphire giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình xử lý chất cảm quang. Hệ thống điều khiển giúp duy trì nhiệt độ ổn định từ lần này sang lần khác.
Tại sao thiết bị này lại được sử dụng rộng rãi trong litography? Trong quy trình litography, thiết bị sấy wafer giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó giảm thiểu sự sai lệch về độ rộng của đường in và giảm chi phí sửa chữa. Việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng mà không ảnh hưởng đến khả năng bám dính của chất cảm quang. Ngoài ra, môi trường nhiệt độ ổn định còn giúp duy trì tỷ lệ sản phẩm khả dụng cao ngay cả khi sản xuất với số lượng lớn. Kết quả là hiệu suất hoạt động ổn định: ít wafer bị hỏng, chi phí tổng thể giảm, và chất lượng sản phẩm đồng đều giữa các máy khác nhau.
Ghi chú khi lắp đặt và bảo trì Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo rằng giao diện kết nối của thiết bị được phù hợp, đồng thời hệ thống thông gió phải hoạt động tốt để giữ áp suất âm trong khu vực chiếu sáng. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, nhưng giống như bất kỳ nguồn nhiệt chính xác nào, nó hoạt động tốt nhất khi nguồn điện và hệ thống làm mát được điều chỉnh phù hợp với mức công suất sử dụng. Cần lên kế hoạch thay thế thiết bị định kỳ để duy trì mức nhiệt độ ổn định trong thời gian dài.