فیبریکیشن لیول پر، آپ جانتے ہی ہیں کہ حالات کیسے ہوتے ہیں۔ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں نصف ڈگری کا فرق بھی ویفر کے ابعاد کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتا ہے… اور یہ بالکل بیکار ہے۔ ویفر ٹولز کے درجہ حرارت کے سینسر صرف اضافی آلات نہیں ہیں؛ بلکہ یہ لیتھوگرافی، فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ، ویفر کی صفائی وغیرہ کے لئے ضروری ہیں۔ جب درجہ حرارت میں یکسانیت نہیں رہتی، تو پیداوار میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔
ہم نے ایسے سینسر بنائے ہیں جو ویفر کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتے ہیں، اور تیزی سے ردِعمل دیتے ہیں۔ یہ سینسرز ایسے خولوں میں نصب ہوتے ہیں جو کلاس 1-100 کے معیارات کے مطابق ہیں۔ مواد کا انتخاب اس طرح کیا گیا ہے کہ گیسوں کا اخراج ختم ہو جائے، اور ذرات کی تخلیق بھی نہ ہو۔ سینسر کا آؤٹ پٹ 24/7 مستحکم رہتا ہے، اور حقیقی وقت میں درجہ حرارت میں تغیرات کا پتہ لگا کر غیرمتوقع تعطل کو روکتا ہے۔ یہ سینسر ہزاروں چکروں میں بھی درستگی برقرار رکھتے ہیں۔
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، “سافٹ بیک” سولوونٹ کی سطح کو متعین کرتا ہے، جبکہ “ہارڈ بیک” تصویر کو مستحکم کرتا ہے۔ درجہ حرارت پر قابو رکھنے سے بیکنگ کا عمل مختصر ہو جاتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور لائنوں کی چوڑائی میں بھی یکسانیت آ جاتی ہے۔ اس سے مختلف آلات میں بھی یکسانیت حاصل ہوتی ہے، ذرات کی تخلیق کم ہو جاتی ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے۔ ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں بھی یہی درستگی سطحی توانائی کو مستحکم کرتی ہے، جس سے خشک کرنے کا عمل بہتر ہو جاتا ہے، اور نقائص بھی کم ہو جاتے ہیں۔
نصب کرنے کے لئے بہت سخت معیارات ہیں۔ سینسر کو گرم علاقے کے درجہ حرارتی مرکز میں ہی نصب کرنا ہوتا ہے، اور اس کا کنیکٹر بھی آلے کے کنیکٹر سے مطابقت رکھنا چاہیے۔ PID کو ایڈجسٹ کرنے اور ویفر پر درجہ حرارت کی یکسانیت کی جانچ کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ زیادہ نمی والے ماحول میں، کنیکٹر کی سیلنگ کی جانچ کرنی ہوتی ہے، اور باقاعدگی سے کیلیبریشن کرنی پڑتی ہے تاکہ ±0.1°C کا معیار برقرار رہے۔