لائن پر، فوٹوریزسٹ کسی قسم کی غلطی کو برداشت نہیں کرتا۔ تھوڑی سی بھی غلطی سے سی ڈی کنٹرول خراب ہو جاتا ہے، اور پھر پورے پروڈکشن عمل میں خرابیوں کی تلاش کرنی پڑتی ہے۔ ہم نے DNS اسکرین ویفر ڈرائر لیمپ کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ اس سے حرارتی عمل میں پیدا ہونے والی تغیرات دور ہو جائیں۔
کیا اہم ہے؟
ویفر کی سطح پر درجہ حرارت +0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے؛ اس طرح ہر علاقے میں یکساں حرارتی ماحول موجود رہتا ہے۔ کلین روم کے معیارات بھی اہم ہیں؛ کلاس 1-100 کے ماحول میں ذرات کی مقدار کنٹرول میں رہتی ہے، کیوں کہ اس عمل کے دوران کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی سے سبسٹریٹ سیدھے گرم ہوتا ہے، اس لیے گرم ہونے کا عمل تیز ہوتا ہے، اور بے استعمال توانائی کی مقدار کم رہتی ہے۔ کوارٹز سے بنے ایمیٹر، فوٹوریزسٹ پروسسنگ کے لئے درکار حرارتی ماحول کو برقرار رکھتے ہیں، اور کنٹرول لوپ، ہر بار ایک ہی معیار کو برقرار رکھتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
لیتھوگرافی میں، ڈرائر لیمپ حرارتی ماحول کو کنٹرول میں رکھتا ہے، جس سے لائن کی چوڑائی میں تغیرات کم ہو جاتے ہیں، اور دوبارہ پروسسنگ کی ضرورت نہیں پڑتی۔ حرارتی ماحول کو کنٹرول کرنے سے فوٹوریزسٹ کی چپکنے کی صلاحیت برقرار رہتی ہے، اور بڑے پیمانے پر پروڈکشن میں بھی معیار برقرار رہتا ہے۔ اس کا نتیجہ یہ ہے کہ ضائع ہونے والے ویفرز کی تعداد کم ہو جاتی ہے، لاگت کم ہو جاتی ہے، اور مختلف مشینوں سے حاصل ہونے والے نتائج بھی یکساں رہتے ہیں۔
تنصیب اور دیکھ بھال سے متعلق نوٹس
تنصیب کے دوران، ٹول کے انٹرفیس کو مناسب طریقے سے جوڑنا ضروری ہے، تاکہ لیمپ کا علاقہ منفی دباؤ میں رہے۔ یہ لیمپ 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، لیکن کسی بھی درستگی والے حرارتی ذریعے کی طرح، اس کی کارکردگی اسی صورت میں بہترین رہتی ہے جب پاور سپلائی اور کولنگ سسٹم مناسب ہوں۔ طویل مدتی استعمال کے لئے، لیمپ کو باقاعدگی سے تبدیل کرنا ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت ہمیشہ مطلوبہ سطح پر رہے۔