فیکٹری میں، آپ کو کسی قسم کی چھوٹ دینے کا موقع نہیں ملتا۔ ہاٹ پلیٹ پر آدھے ڈگری کا فرق بھی وائفر کی سطح پر تغیرات کا سبب بنتا ہے، اور اس سے وائفرز ضائع ہو جاتے ہیں۔ جب “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” کے عمل کو سیکنڈز اور ڈگریوں کے حساب سے ناپا جاتا ہے، تو کوئی خطا کی گنجائش باقی نہیں رہتی۔ آئی آر لیمپ کو ایسی حرارت فراہم کرنی ہوتی ہے جو استحکام اور بار بار استعمال کے لئے مناسب ہو؛ ورنہ لیتھوگرافی کا عمل درست طریقے سے انجام نہیں پاتا۔
تکنیکی اعتبار سے اہم بات یہ ہے کہ ہمارا آئی آر لیمپوں کے لئے استعمال ہونے والا الومینیم ریفلیکٹر، سیمی کنڈکٹرز کے حرارتی خصوصیات کے مطابق ہی بنایا گیا ہے۔ یہ ریفلیکٹر، وائفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتا ہے، تاکہ توانائی کی سطح مناسب رہے۔ سطح کو پالش کیا جاتا ہے تاکہ گیسوں اور ذرات کی مقدار کم ہو، اور کلین روم کی کارکردگی بہتر رہے۔ بار بار استعمال کے لئے، ریفلیکٹر کی ہندسی ساخت اور اس کی خصوصیات کو مستحکم رکھنا ضروری ہے، تاکہ درجہ حرارت ہمیشہ درست رہے۔
فوٹو ریزسٹ عمل میں اس کی کارکردگی اس لئے بہتر ہے کہ “سافٹ بیک” سے محلول کو ختم کیا جاتا ہے، جبکہ “ہارڈ بیک” سے پولیمر کی ساخت کو درست کیا جاتا ہے۔ اس ریفلیکٹر کی بدولت، آئی آر لیمپ سے نکلنے والی حرارت یکساں رہتی ہے، جس سے کناروں کی ساخت بہتر ہوتی ہے، اور کنٹرول کی سطح بہتر ہوتی ہے۔ اس سے وائفرز کی تعداد کم ہوتی ہے، فضلہ کم ہوتا ہے، اور عمل کا وقت بھی کم ہوتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ریفلیکٹر حرارت کو صرف ضروری جگہوں پر ہی فراہم کرتا ہے، اور اسے غیر ضروری جگہوں پر ضائع نہیں کرتا۔ یہ ریفلیکٹر 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے؛ فیلڈ یونٹس میں اس کا استعمال 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہو چکا ہے، اور اب بھی اس کی کارکردگی بہترین ہے۔
مختصراً، یہ ریفلیکٹر بہترین کارکردگی دیتا ہے۔
اس کی تنصیب کے لئے لیمپ کی سمت اور فوکل لمبائی کو درست کرنا ضروری ہے۔ جب لیمپ، ریفلیکٹر، اور سبسٹریٹ کی سطح ایک سسٹم کے طور پر درست طریقے سے سیٹ کئے جاتے ہیں، تو ہی مطلوبہ نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ چیمبر کی ہندسی ساخت کے مطابق ماؤنٹنگ کی جگہ کی جانچ کریں، اور بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کے اثرات کو بھی دیکھیں۔ ریفلیکٹر کو مناسب آئی آر ذریعے سے جوڑیں – چاہے وہ شارٹ-ویو ہو یا میڈیم-ویو – اس بنیاد پر کہ فوٹو ریزسٹ کس طرح حرارت کو جذب کرتا ہے۔ زیادہ نمی والے ماحول میں، ریفلیکٹر کی کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لئے باقاعدگی سے چیک کرنا ضروری ہے۔