Як отримати більше тепла на поверхню пластини (а не на стінки камери)
Коли ви нагріваєте пластини у вакуумі, ви боретеся з законами фізики. Оскільки там немає повітря, ви не можете покладатися на процес конвекції. Вам доводиться користуватися лише променевим нагріванням.
Проблема полягає у тому, що кожен ват енергії, який не потрапляє на пластину, є марно витраченою енергією. Вона йде на нагрівання стінок камери, що ще більше перегружує систему охолодження. Це є марновитим використанням енергії та причиною проблем для обладнання.
Чому ми використовуємо золото
Стандартні кварцові лампи випромінюють тепло в усіх напрямках. Щоб уникнути цього марнування, ми використовуємо відбивачі, покриті золотом. Золото чудово відбиває інфрачервоні хвилі назад, туди, де вони мають бути.
Завдяки покриттю корпусу золотом ми можемо спрямувати тепло безпосередньо на поверхню пластини. Результат – значно вища щільність тепла без необхідності збільшення потужності.
Слідкуйте за тепловим навантаженням
Однак є один недолік: коли така кількість випромінювання спрямовується на певну точку, нитка лампи мусить працювати при вищих температурах, щоб забезпечити стабільну потужність.
Якщо ви використовуєте лампи з високою потужністю для швидкого нагрівання, ваші джерела живлення повинні бути міцними. Ми бачили випадки, коли системи просто переставали працювати через недостатню міцність електричних ліній. Переконайтесь, що ваша електропроводка може витримати таке навантаження, а вакуумні ущільнення не будуть пошкоджені через місцеві піки температури.
Компроміс
Золото є найкращим засобом для цієї мети, але воно дуже вибагливе – воно не терпить забруднень. Якщо під час процесу виникають гази чи хімічні пари, які можуть пошкодити золотий шар, їх відбивна здатність знижується. Ви почнете помічати, що тепло не потрапляє на пластину рівномірно.
Тримайте камеру чистою. Якщо покриття пошкоджується, ви не тільки втрачаєте ефективність, але ще й ризикуєте отримати „гарячі точки“ на поверхні пластини. Цього ніхто не хоче.
У кінцевому підсумку ми створюємо ці нагрівачі для того, щоб тепло потрапляло саме туди, де це необхідно – у кремній, а не в саму машину.