Чому саме інфрачервоне випромінювання є оптимальним способом сушіння без використання свинцю
Під час виробництва напівпровідників „чистота“ – це не просто завдання, а ключовий фактор. Не можна допустити наявності жодної краплі пилу чи інших забруднень на пластинах.
Довгий час люди використовували конвективні печі. Але, чесно кажучи, це досить незручно. Вони розповсюджують повітря по всій кімнаті, що фактично означає розсіювання частинок у чистій кімнаті. Крім того, нагрівання великої кімнати з повітрям – це велика втрата енергії.
Саме тому ми використовуємо інфрачервоні нагрівачі. Енергія передається через електромагнітне випромінювання, безпосередньо до самого матеріалу. Жодних посередників.
Це все про ефективність. Оскільки інфрачервоне випромінювання не витрачає час на нагрівання кімнати, енергія потрапляє прямо на смоли чи фоторезисти на пластинах саме туди, де це необхідно. Час нагрівання скорочується з годин до секунд. Це дуже швидко.
Крім того, оскільки не потрібно боротися з процесами горіння чи циркуляцією повітря, не потрібно також турбуватися про можливий проникнення забруднень у робочу зону. Якщо ви прагнете отримати сертифікати на „нульові викиди“ чи „без свинцю“, це, мабуть, єдиний правильний спосіб.
Реальні переваги та недоліки
Ми створюємо ці нагрівачі так, щоб вони були максимально чистими. Ми використовуємо кварц високої чистоти та спеціалізовані філаменти, щоб уникнути появи металевих частинок на лінії виробництва.
Але потрібно бути обережним щодо температурного градієнта. Інфрачервоне випромінювання є дуже потужним. Якщо пластина не рухається з правильною швидкістю, можуть виникнути локальні точки надмірного нагріву. Потрібно точно налаштувати час руху пластини, інакше це може призвести до деформації матеріалу. А якщо підвищити потужність нагрівача без належного радіатора для відведення тепла? Це може призвести до теплових навантажень на краях пластини. Тут потрібна певна обережність.
Економія простору
Найкраще те, що можна заощадити простір. Можна замінити величезну піч на модульну систему нагріву. Більше немає складних каналів для подачі повітря чи складної електропроводки. Достатньо лише налаштувати довжину хвилі та інтенсивність нагріву, щоб отримати бажаний ефект сушіння. Це більш ефективний та тихіший спосіб сушіння, без усіх недоліків старих систем.