Під час процесу фотолітографії фоторезист не прощає жодних відхилень у температурі. Навіть незначні відхилення під час нагрівання можуть порушити контроль за процесом, і доводиться шукати дефекти по всій поверхні пластини. Ми створили спеціальну лампу для сушіння пластин, яка допомагає усунути ці відхилення.
Що є важливим при роботі лампи
Температура на поверхні пластини залишається стабільною – приблизно ±0,1°C. Таким чином кожна зона пластини отримує однакову температуру. Сумісність з чистими приміщеннями також є важливою характеристикою – приміщення класу 1–100 залишаються в межах допустимих значень кількості частинок, оскільки лампа не створює підвищеної кількості частинок під час роботи. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання нагріває поверхню пластини безпосередньо, тож процес нагрівання відбувається швидко, а енергоспоживання зменшується. Емітер, загорнутий у кварц, забезпечує стабільність температури під час обробки фоторезисту. Система керування забезпечує постійну стабільність параметрів нагріву.
Чому це важливо у літографії
Лампа допомагає підтримувати стабільну температуру під час обробки пластини, що зменшує відхилення у ширині ліній та необхідність переробки продукції. Швидке досягнення потрібної температури не завдає шкоди адгезії фоторезисту, а стабільна температура забезпечує високу якість продукції навіть при великому об’ємі виробництва. Результатом є стабільна продуктивність: менше відходів, менші витрати на їх утилізацію, а також стабільність параметрів машини під час роботи.
Примітки щодо встановлення та обслуговування
Під час встановлення необхідно забезпечити правильне підключення лампи та належну систему відведення повітря, щоб зона навколо лампи залишалась під негативним тиском. Лампа розрахована на безперервну роботу 24/7, але, як і будь-яке пристрій для точного контролю температури, вона працює найкраще, коли потужність та система охолодження відповідають потребам роботи. Необхідно запланувати періодичну заміну лампи, щоб забезпечити стабільність параметрів протягом тривалого часу.