На литографічному поверсі однорідність температури м’якого випікання не є перевагою — це технічна специфікація. Коливання температури на 1°C по всій поверхні вафлі може змінити критичні розміри, зіпсувати профілі бокових стінок та знизити вихід продукції з партії в партію. Ми створили наші інфрачервоні лампи для м’якого випікання, щоб усунути цю змінність з рівняння.
Основою є близькоінфрачервоне (NIR) випромінювальне нагрівання, налаштоване на те, щоб передавати енергію безпосередньо в фоточутливий шар, не перегріваючи плівки під ним. Однорідність на рівні вафлі залишається в межах ±0.1°C по всій поверхні випікання, а повторюваність зберігається з партії в партію, зміну за зміною. Збірка лампи готова до чистих приміщень, з нульовим утворенням частинок, що підтверджено до класу 1–100. Стабільність подачі енергії залишається на рівні, з відхиленням менше 5% після 5000+ годин, а тепловий профіль залишається повторюваним навіть при зміні ламп.
Ось чому це важливо у виробництві: м’яке випікання встановлює профіль видалення розчинника, який визначає текучість фоточутливого шару, адгезію та межу експозиції, яку ви отримаєте наступною. Точний термічний контроль зменшує переробки, скорочує цикли кваліфікації та зменшує енергоспоживання, усуваючи час затримки та перевищення температури. Ви повертаєте межу процесу, і зменшуєте незаплановані зупинки, викликані температурними коливаннями.
Встановлення полягає в точному налаштуванні оптичного вирівнювання та маршрутизації викидів, щоб контролювати частки. Підберіть лампу до геометрії камери та теплової маси носія — інакше градієнти з краю до центру можуть знову з’явитися, навіть незважаючи на вроджену однорідність лампи. Вкажіть правильну потужність, напругу та інтерфейс з’єднання для вашої платформи та проведіть тест прийняття на майданчику, який картує температуру по всій зоні випікання, а не лише в центрі.