Wafer’inize Daha Fazla Isı Ulaştırın (Ve Duvarlarınıza Daha Az Isı Gitsin)
Vakum ortamında wafer’leri ısıttığınızda, fizik yasalarıyla mücadele etmek zorunda kalırsınız. Hava olmadığı için konveksiyon yönteminden yararlanamazsınız; bu yüzden radyasyon yöntemine başvurmak zorundasınız.
Sorun şu ki, wafer’i ısıtmayan her bir wattlık enerji boşa gider. Bu enerji, odanın duvarlarını ısıtır ve bu da soğutma sistemine ekstra yük getirir. Bu durum hem enerji israfıdır hem de donanım açısından sorun yaratır.
Neden altın kullanıyoruz?
Standart kuvars lambaları ısıyı her yöne yayar. Bu israfı önlemek için altın kaplı yansıtıcılar kullanıyoruz. Altın, kızılötesi ışınları tekrar doğru yere geri yansıtmada mükemmeldir. Kutuyu altınla kaplayarak, normalde geriye gitmesi gereken ısıyı ileriye doğru yönlendiriyoruz. Böylece enerji doğrudan wafer yüzeyine odaklanır. Sonuç olarak, daha fazla güç kullanmadan çok daha yüksek bir ısı yoğunluğu elde edilir.
Termal yükü kontrol edin
Ancak bir dezavantaj var: Bu kadar fazla radyasyonu bir hedefe odakladığınızda, lambanın filamenti sabit bir çıkış sağlamak için daha yüksek sıcaklıklarda çalışmak zorunda kalır. Eğer hızlı ısınma için yüksek güçlü lambalar kullanıyorsanız, güç kaynaklarının da çok güçlü olması gerekir. Bazı sistemler, bu ani yüklenmelere dayanamayıp çalışmayı durdurabilir. Kablolarınızın bu yükü kaldırabileceğinden ve vakum contalarının yerel ısı artışlarına dayanabileceğinden emin olun.
Tercihler arasındaki denge
Altın, bu iş için en iyi araçtır; ancak biraz seçici davranır. Kirlerden hoşlanmaz. Eğer işlem sırasında altın tabakasını lekeleyecek veya aşındıracak gazlar veya kimyasallar kullanılıyorsa, yansıtma özelliği azalır. Isının wafer’e eşit şekilde ulaşmadığını fark edeceksiniz. Odanızı temiz tutun. Eğer kaplama kirlenirse, sadece verimlilik kaybetmekle kalmazsınız; aynı zamanda substratınızda sıcak noktalar oluşur ve kimse bunu istemez.
Sonuç olarak, bu ısıtıcıları, ısıyı tam da olması gereken yere, yani silisyuma, makinenin içine değil, göndermek için üretiyoruz.