На производственной площадке все происходит так: даже небольшое изменение температуры в полградуса может привести к изменению критических размеров изделия на уровне нанометров — а это означает необходимость утилизации бракованных изделий. Датчики температуры для вращающихся дисков не являются дополнительными устройствами; они определяют параметры теплового режима, необходимые для процессов литографии, обработки фоторезиста и очистки дисков. При отсутствии единой температуры производительность снижается.
Мы разработали эти датчики таким образом, чтобы обеспечить стабильность температуры на уровне ±0,1°C, при этом датчик быстро реагирует на изменения температуры. Элементы датчика расположены в корпусе, соответствующем стандартам чистых комнат класса 1–100. Выбранные материалы минимизируют выделение газов и предотвращают появление частиц. Выходной сигнал датчика остается стабильным круглосуточно, что позволяет избежать непланированных простоев за счет своевременного выявления отклонений. Кроме того, датчик сохраняет точность kalibровки даже после тысяч циклов работы.
При обработке фоторезиста процедура мягкой обработки задает профиль растворителя, а процедура жесткой обработки фиксирует получаемый изображение. Точный контроль температуры позволяет сократить время обработки, уменьшить количество бракованных изделий и улучшить точность размеров линий. Это также способствует снижению энергопотребления, поскольку система контроля предотвращает значительные колебания температуры. При очистке и сушке дисков такая же точность помогает стабилизировать поверхностную энергию, улучшая качество сушки и снижая количество дефектов.
Требования к установке датчика очень строгие: он должен находиться в центре зоны нагрева и соответствовать интерфейсу подключения оборудования. Необходимо провести кратковременную настройку датчика для определения параметров PID и проверки степени однородности температуры на всей поверхности диска. В условиях высокой влажности необходимо проверять герметичность соединений и планировать периодическую kalibровку датчика для поддержания требуемого уровня точности ±0,1°C.