На линии FO-WLP именно слой для редистрибуции тепла определяет скорость процесса. Даже небольшое изменение температуры в 0,3°C может привести к изменению напряжений в материале, изгибу формы и снижению качества продукта. Необходимо использовать нагреватель, способный контролировать температурный режим — без каких-либо приблизительных оценок.
Что действительно важно Мы разработали этот нагреватель для упаковки чипов на уровне пластины с целью обеспечения точного контроля температуры. Он обеспечивает стабильность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности подложки. Благодаря этому каждый чип получает одинаковые условия термообработки во время отверждения эпоксидной смеси, обработки фоторезистом и его окончательной обработки. Зона нагрева соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; поверхности и материалы выбраны таким образом, чтобы минимизировать количество частиц в воздухе. Отсутствие частиц — это не просто слоган, а результат правильной конструкции камеры, герметичности и системы вентиляции. Система работает круглосуточно с высокой степенью повторяемости, а температурная реакция настроена так, чтобы соответствовать требованиям коротких циклов производства FO-WLP без перегрева.
Суть в том, что в процессе производства FO-WLP все происходит в рамках строгих температурных параметров: нагрев, отверждение, ламинирование и так далее. Благодаря этому нагревателю процесс обработки фоторезиста проходит в заданных пределах, ширина элементов сохраняется, а структура чипа не повреждается во время окончательной обработки. Это позволяет добиться стабильного потока материала, снизить количество браков из-за нестабильности температуры. Дизайн с низкой тепломассой сокращает время нагрева, сохраняя при этом стабильность, что позволяет экономить энергию. Результатом являются стабильные процессы производства, предсказуемая эффективность и меньше простоев из-за неисправностей нагревателя.
Есть несколько практических замечаний перед тем, как заказывать устройство. Нагреватель может быть интегрирован в стандартное оборудование для производства FO-WLP, но необходимо убедиться, что его размеры и система вентиляции соответствуют характеристикам вашего оборудования. Также необходимо учитывать стабильность напряжения в чистой комнате — колебания напряжения могут изменять параметры работы нагревателя. Потребуется некоторое время на настройку PID-регулятора под конкретные условия производства. Как только все будет настроено, нагреватель будет поддерживать стабильную температуру на уровне ±0,1°C каждый день.