Equipamento de linha de fabricação de wafers
No chão de fábrica, o bake de fotoresiste não é apenas um passo de temperatura. É uma tolerância.
Um desvio de 2°C desloca o viés da dimensão...
Lâmpada infravermelha para secagem de pastilha de silício
Assista a um wafer sair do enxágue final. Se a etapa de secagem não for precisa, surgem marcas de água, as camadas inferiores do fotoresiste começam...