なぜ、すべてのウェーハ型IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ シリコンを加工する際、失敗の代償は非常に大きい。わずかな電気漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまうのだ。 だからこそ、私たちは「サンプルテスト」を行わない。10個に1個だけテストして、うまくいくことを願うの...

製造現場では、許容範囲に隠れることはできません。ホットプレートの位置が半度でもずれると、ウェーハの線幅に変動が生じ、それによってウェーハがダメになってしまいます。ソフトベイクやハードベイクの時間や温度は秒単位、度単位で測定されるため、余裕はありません。IRランプは安定して再現性のある熱を供給しなけ...

ウェーハの上では、わずか数度の温度変動でも、フォトレジストの焼成プロセスに悪影響を与え、線幅のコントロールや歩留まりを低下させてしまいます。したがって、熱的な不安定要素は許されません。IRエミッターアセンブリに装着されるセラミック製のエンドキャップは、このような不安定要素を排除し、必要な場所、つま...