Come ottenere una temperatura adeguata durante il lavaggio delle wafer
Quando si lavano le wafer, in pratica si deve lottare contro il tempo. È necessario eliminare rapidamente l’umidità presente sulle wafer, ma non si può utilizzare troppo calore, altrimenti si distrugge il substrato su cui sono posizionate le wafer.
Per risolvere questo problema, utilizziamo lampade a infrarossi impermeabili. Ma il vero segreto sta nei riflettori rivestiti d’oro. Senza di essi, gran parte dell’energia termica viene dispersa nel corpo della macchina. Si tratta quindi di energia e tempo sprecati.
Perché l’oro?
La maggior parte delle persone inizia utilizzando riflettori in alluminio, ma questi assorbono troppa energia infrarossa. L’oro, invece, è estremamente efficace nel riflettere la luce infrarossa proprio dove serve: sulle wafer. In altre parole, si tratta di concentrare l’energia. Invece di utilizzare più lampade e aumentare così i costi energetici, si fa sì che le lampade esistenti funzionino meglio. In questo modo si ottiene un riscaldamento più intenso e preciso, proprio dove è necessario.
Gestire il problema dell’umidità
Queste lampade operano in un ambiente umido. L’acqua è ovunque, e cerca sempre di entrare all’interno delle lampade. Se l’umidità penetra nell’involucro di vetro, la lampada si distrugge molto prima del previsto. Ecco perché prestiamo molta attenzione alle guarnizioni, soprattutto nei punti in cui i cavi entrano in contatto con i connettori. Se queste guarnizioni non sono perfette, ci si espone al rischio di cortocircuiti che possono compromettere la produttività.
I vantaggi reali
Dobbiamo essere onesti: l’oro non è economico. I costi iniziali saranno più alti rispetto all’uso di alluminio lucidato. Tuttavia, si risparmiano soldi in seguito, poiché il consumo energetico rimane basso, anche quando si raggiungono le temperature desiderate.
Un consiglio: bisogna mantenere queste lampade pulite. Se si accumulano sostanze chimiche o l’oro inizia ad ossidarsi, la capacità di riflessione diminuisce. In tal caso, è necessario aumentare l’intensità della luce, il che può causare danni alle wafer. È quindi importante seguire uno schema di pulizia rigoroso. È solo un piccolo sforzo per mantenere le wafer al sicuro.