Mendapatkan lebih banyak panas ke wafer, dan mengurangi panas yang masuk ke dinding ruang pendingin
Ketika Anda memanaskan wafer dalam kondisi vakum, Anda sebenarnya sedang berjuang melawan hukum fisika. Karena tidak ada udara, Anda tidak bisa mengandalkan proses konveksi untuk memindahkan panas. Anda hanya bisa mengandalkan radiasi.
Masalahnya adalah: setiap watt panas yang tidak sampai ke wafer merupakan energi yang terbuang sia-sia. Energi tersebut justru akan memanaskan dinding ruang pendingin, sehingga menambah beban pada sistem pendingin. Ini merupakan pemborosan energi, dan tentu saja merepotkan bagi perangkat keras yang digunakan.
Mengapa kita menggunakan emas
Lampu kuarsa biasa memancarkan panas ke segala arah. Untuk menghindari pemborosan energi ini, kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Emas sangat efektif dalam memantulkan gelombang inframerah kembali ke tempat semula. Dengan melapisi bagian luar lampu dengan emas, kita dapat mengarahkan panas tersebut tepat ke permukaan wafer. Hasilnya? Kepadatan panas yang dihasilkan menjadi lebih tinggi, tanpa perlu meningkatkan daya yang digunakan.
Perhatikan beban termal
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan. Ketika panas dikonsentrasikan pada satu titik, filamen lampu harus bekerja lebih keras agar outputnya tetap stabil. Jika Anda menggunakan lampu berdaya tinggi agar waktu pemanasan menjadi lebih cepat, maka sumber listriknya harus sangat kuat. Kami pernah melihat sistem yang gagal berfungsi karena kapasitas listriknya tidak cukup untuk menahan lonjakan arus tersebut. Pastikan kabel-kabelnya mampu menangani beban tersebut, dan selubung vakumnya tidak rusak akibat lonjakan panas tersebut.
Kompromi yang harus diterima
Emas memang alat terbaik untuk tujuan ini, tetapi ia sangat sensitif terhadap kontaminasi. Jika proses produksi melibatkan uap kimia atau zat-zat yang dapat merusak lapisan emas tersebut, maka efektivitas refleksi panas akan menurun. Anda akan mendapati bahwa panas tidak merata mengenai permukaan wafer.
Jaga kebersihan ruang pendingin. Jika lapisan emasnya kotor, bukan hanya efisiensi yang berkurang, tetapi juga risiko munculnya titik-titik panas di permukaan wafer. Tentu saja, hal ini harus dihindari.
Pada akhirnya, kita membuat pemanas ini agar panasnya bisa dialirkan tepat ke tempat yang dibutuhkan: ke silikon, bukan ke mesinnya sendiri.