Mengapa Penggunaan Pemanas Inframerah Adalah Solusi yang Tepat untuk Proses Pengeringan Tanpa Timbal
Saat memproduksi semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar tujuan, melainkan hal yang sangat penting. Anda tidak boleh membiarkan sedikit pun debu atau kotoran mengganggu proses produksi wafer.
Selama ini, orang-orang menggunakan oven konvensional untuk proses pengeringan. Namun sejujurnya, alat tersebut kurang efisien. Udara panas yang dihasilkannya justru menyebarkan partikel-partikel kotor ke seluruh ruangan. Selain itu, memanaskan udara dalam ruangan yang besar juga merupakan pemborosan energi yang besar.
Itulah mengapa kita menggunakan pemanas inframerah. Energi panasnya ditransmisikan melalui radiasi elektromagnetik, sehingga langsung mencapai permukaan substrat. Tidak ada perantara sama sekali. Yang terpenting adalah efisiensi. Karena pemanas inframerah tidak membuang waktu untuk memanaskan ruangan, energi panasnya langsung sampai ke resin atau fotoresist yang ada di wafer. Waktu pemanasan pun berkurang drastis, dari jam-jam menjadi beberapa detik saja. Sangat cepat.
Selain itu, karena tidak menggunakan proses pembakaran atau sirkulasi udara, Anda tidak perlu khawatir akan adanya kontaminan yang masuk ke area produksi. Jika Anda ingin mendapatkan sertifikat “bebas emisi” atau “tanpa timbal”, ini merupakan cara yang paling tepat.
Kompromi yang Harus Diterima
Namun, pemanas inframerah ini membutuhkan perhatian khusus terhadap gradien suhu. Karena pemanas inframerah sangat kuat, jika wafer tidak bergerak dengan kecepatan yang tepat, maka akan tercipta titik-titik panas lokal. Anda perlu menyesuaikan kecepatan konveyor dengan tepat, agar substrat tidak rusak. Jika daya yang digunakan terlalu tinggi tanpa adanya sistem pendinginan yang memadai, maka akan terjadi tekanan termal pada bagian pinggir wafer. Membutuhkan kehati-hatian yang tinggi.
Keuntungan yang Didapat
Hal terbaik dari penggunaan pemanas inframerah adalah ruang yang bisa digunakan menjadi lebih efisien. Anda bisa mengganti oven besar dengan sistem pemanas modular. Tidak perlu lagi menggunakan saluran udara yang rumit atau kabel-kabel yang merepotkan. Anda hanya perlu menyesuaikan panjang gelombang dan intensitas daya untuk mendapatkan hasil pengeringan yang optimal.
Ini merupakan cara yang lebih efisien dan tenang untuk proses pengeringan, tanpa semua kerumitan yang ada pada sistem lama.