फैब फ्लोर पर, आपको पता ही है कि क्या होता है… बेकिंग तापमान में आधे डिग्री का भी अंतर, क्रिटिकल डाइमेंशनों पर नैनोमीटर स्तर पर प्रभाव डाल सकता है… और इसके कारण उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं। वेफर टूलों में लगे तापमान सेंसर, कोई अतिरिक्त उपकरण नहीं हैं… बल्कि ये ही लिथोग्राफी, फोटोरेसिस्ट की प्रक्रियाओं, वेफर की सफाई आदि हेतु आवश्यक तापमान-नियंत्रण प्रदान करते हैं। जब तापमान में असमानता होती है, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है।
हमने ऐसे सेंसर बनाए हैं, जो वेफर स्तर पर तापमान-समानता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं… एवं त्वरित एवं विश्वसनीय प्रतिक्रिया प्रदान करते हैं। ये सेंसर, क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप, क्लीनरूम में ही इस्तेमाल किए जा सकते हैं… इनमें ऐसी सामग्रियाँ इस्तेमाल की गई हैं, जिससे गैसों का उत्सर्जन न हो, एवं कणों का उत्पादन भी न हो। इन सेंसरों का आउटपुट 24/7 स्थिर रहता है… ताकि कोई अप्रत्याशित रुकावट न हो… एवं हजारों चक्रों में भी इनका कैलिब्रेशन बना रहे।
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया से घोल का प्रोफाइल तय होता है… जबकि “हार्ड बेक” प्रक्रिया से छवि को स्थिर रखा जाता है। कड़ा तापमान-नियंत्रण, बेकिंग प्रक्रिया को बेहतर बनाता है… रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं लाइन-विड्थ में भी समानता बनी रहती है। इससे विभिन्न उपकरणों एवं शिफ्टों में भी समान परिणाम प्राप्त होते हैं… कणों का उत्पादन कम हो जाता है… एवं ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि नियंत्रण-चक्र अनियंत्रित उतार-चढ़ावों को रोक देता है। वेफर की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में भी, यही सटीकता सतह-ऊर्जा को स्थिर रखती है… जिससे सुखाने की प्रक्रिया बेहतर हो जाती है… एवं दोष भी कम हो जाते हैं।
स्थापना हेतु आवश्यक सटीकता बहुत ही अधिक है… सेंसर को गर्म क्षेत्र के तापीय केंद्र में ही रखना होता है… एवं इसका कनेक्टर भी उपकरण के कनेक्टर से मेल खाना होता है। PID सेटिंगों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एवं वेफर पर तापमान-समानता की जाँच भी आवश्यक है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, कनेक्टर की सीलिंग की जाँच आवश्यक है… एवं नियमित रूप से कैलिब्रेशन भी आवश्यक है… ताकि ±0.1°C का मान बना रहे।