ציוד קו ייצור ופרים

על רצפת המפעל, אפיית פוטורזיסט אינה רק שלב של טמפרטורה. זאת טולרנס. סטייה של 2°C תשנה את ה- critical dimension bias, ושלל חלקיקים יהרוסו הרבה דיידים...