על רצפת הליתוגרפיה, אחידות טמפרטורת האפייה הרכה אינה העדפה - היא דרישה. שינוי של 1°C על פני הוופר יכול להזיז ממדי מפתח, להרוס פרופילים צדדיים ולהשפיע...

בחדר הליתוגרפיה, סטייה של 0.5°C בתהליך האפייה של הפוטורזיסט אינה “שגיאה קטנה”. זהו צלחת שהושלכה, שכבת מסכה שהלכה לאיבוד, ולוח זמנים...