Obtenir la chaleur adéquate lors du rinçage des wafer
Lorsque vous rincez les wafer, vous luttez essentiellement contre le temps. Il est nécessaire d’éliminer l’humidité rapidement, mais il ne faut pas utiliser une chaleur excessive, sinon vous risquez de endommager le substrat.
Pour y parvenir, nous utilisons des lampes infrarouges étanches à l’eau. Mais le vrai secret réside dans les réflecteurs revêtus d’or. Sans eux, une grande partie de l’énergie thermique disparaît simplement dans le châssis de la machine. C’est de l’énergie et du temps gaspillés.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens commencent avec des réflecteurs en aluminium, mais ceux-ci absorbent beaucoup trop d’énergie infrarouge. L’or, lui, est incroyablement efficace pour renvoyer la lumière infrarouge là où elle doit être : sur le wafer. On peut considérer cela comme une manière de concentrer l’énergie. Au lieu d’ajouter davantage de lampes, ce qui entraîne une consommation d’électricité accrue, on fait en sorte que les lampes existantes fonctionnent plus efficacement. Ainsi, on obtient une chaleur plus intense, exactement là où elle est nécessaire.
Gérer le problème de l’humidité
Ces lampes fonctionnent dans un environnement humide. L’eau est partout, et elle cherche toujours un moyen d’y pénétrer. Si l’humidité pénètre dans l’enveloppe en quartz de la lampe, celle-ci est ruinée. Elle s’éteindra bien avant son heure. C’est pourquoi nous accordons beaucoup d’importance aux joints, surtout là où les câbles se connectent aux prises. Si ces joints ne sont pas parfaits, on risque un court-circuit, ce qui entrave la productivité.
Le compromis dans la pratique
Honnêtement, l’or n’est pas bon marché. Le coût initial sera plus élevé que si l’on utilisait de l’aluminium poli. Mais on économise de l’argent à long terme, car la consommation d’énergie reste faible, même lorsque l’on atteint les températures souhaitées.
Un conseil : il faut absolument maintenir ces équipements propres. Si des produits chimiques s’accumulent ou si l’or commence à s’oxyder, sa capacité de réflexion diminue. Dans ce cas, il faut augmenter la puissance de la lampe pour compenser, ce qui peut endommager les wafer. Suivez donc un calendrier de nettoyage strict. Cela demande un peu d’effort, mais c’est nécessaire pour conserver une chaleur optimale et protéger les wafer.