در این مرحله، آن ویفر ۳۰۰ میلیمتری در حالت پخت نرم قرار دارد تا کنترل عرض خطوط روی سطح ویفر بهبود یابد. اگر دمای سطح گرمکن حتی کمی تغییر کند، یکنواختی CD تحت تأثیر قرار میگیرد؛ در نتیجه، کل محصولات در معرض خطر از بین رفتن قرار میگیرند. ما گرمکنهای مناسب برای همین منظور طراحی کردهایم؛ زیرا در این صنعت، عملکرد حرارتی، فقط یک مشخصه فنی نیست؛ بلکه خود اصل فرآیند تولید است.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنیم؛ این کار باعث میشود دمای لازم برای فرآیندهای پخت نرم و سخت به طور یکنواخت فراهم شود. مواد و ساختار گرمکنها مناسب محیطهای پاکسازی شده هستند؛ همچنین، این گرمکنها طوری طراحی شدهاند که تولید ذرات و گازهای ناخواسته در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ کاهش یابد. تنظیم سریع دما و کنترل دقیق آن، باعث کاهش تغییرات دمایی میشود؛ بنابراین، هر ویفر در هر بار پخت، دمای یکسانی خواهد داشت.
چرا این روش در تولید واقعی مؤثر است: در فرآیندهای لیتوگرافی، دمای یکنواخت، عاملی است که باعث میشود بازده تولید ثابت بماند. با این روش، کنترل CD بهتری امکانپذیر میشود، تعداد تولیدات مردود کاهش مییابد و عیبهای تولیدی قابل پیشبینی خواهند بود؛ زیرا گرمکنها باعث آلودگی یا تغییرات دمایی نمیشوند. این گرمکنها طوری طراحی شدهاند که بتوانند ۲۴/۷ به طور مداوم کار کنند؛ بنابراین، زمان توقف غیرمنتظره و هزینههای نگهداری کاهش مییابد. گرما به شکل کارآمدی تحویل داده میشود؛ بنابراین، میتوانید در حالی که دقت بالایی دارید، دمای کمتری داشته باشید.
جزئیاتی که باعث عملکرد بهتر این گرمکنها میشود: اینفورماتیک، کار سادهای است؛ اما باید گرمکن را با ساختار مکانیکی دستگاه، سیستم تغذیه انرژی و راهبردهای کنترلی آن سازگار کرد. باید نوع کانکتور، ابعاد و ولتاژ گرمکن را مشخص کرد؛ در غیر این صورت، ممکن است مشکلاتی در مسیرهای جریان و اتصالات حرارتی ایجاد شود. همچنین، باید برای نگهداری منظم و پیشگیری از خرابیها، برنامهریزی کرد. حتی پایدارترین گرمکنها نیز نیاز به بررسی دورهای دارند تا فرآیند تولید به خوبی ادامه یابد.