برداشتن حداکثر بهره از سیستم گرمایش ویفرها
وقتی که با ترولیهای مورد استفاده در اتاقهای پاکسازی نیمههادیها سروکار دارید، هدفتان فقط گرم کردن اجسام نیست؛ بلکه هدف این است که انرژی را دقیقاً در جایی که لازم است، یعنی روی سطح ویفر، تخصیص دهید.
اکثر افراد از لامپهای کوارتز استاندارد استفاده میکنند؛ اما این لامپها انرژی را در همه جهات پخش میکنند. بدون برنامهریزی مناسب، نیمی از انرژی صرفاً از بدنه ترولی هدر میرود؛ این کار، در واقع هدر دادن انرژی است.
به همین دلیل، ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
جادوی طلا
طلا برای طولموجهای مادون قرمز بسیار مؤثر است؛ آن حدود ۹۸٪ از انرژی را بازتاب میدهد. با اضافه کردن لایه نازکی از طلا بر روی بدنه، میتوانیم از پراکنده شدن فوتونها جلوگیری کنیم و آنها را مستقیماً به سمت ویفر بازتاب دهیم.
این کار باعث میشود که انرژی در نقطه مورد نظر متمرکز شود؛ در نتیجه، نیازی به افزایش توان مورد نیاز برای انجام کار نیست.
سرعت در مقابل کنترل
مزیت بزرگ این روش، سرعت است؛ شما میتوانید دمای مورد نظر خود را خیلی سریعتر به دست آورید؛ این کار باعث کاهش زمان لازم برای گرم شدن ویفرها میشود.
اما یک مشکل وجود دارد؛ چون انرژی بسیار متمرکز است، ویفرها به سرعت گرم میشوند. اگر کنترلکنندههای PID شما برای این نوع جریان انرژی تنظیم نشده باشند، دمای ویفرها از حد مورد نظر فراتر خواهد رفت. لذا باید کالیبراسیون سنسورها را به دقت بررسی کنید تا از سوختن لبههای ویفرها جلوگیری شود.
استفاده از این سیستم در اتاقهای پاکسازی
ما میدانیم که فضای موجود در ترولیهای حمل و نقل بسیار محدود است؛ بنابراین سعی کردهایم ابعاد این سیستم را کوچک نگه داریم. همچنین، لایه طلا را به خوبی محکم کردهایم؛ در نتیجه، هیچ گونه ذره فلزی یا آلودگی در اتاقهای پاکسازی ایجاد نمیشود.
علاوه بر این، این روش باعث کاهش هزینههای برقی میشود؛ زیرا وقتی این سیستمها به شبکه برق متصل میشوند، میزان مصرف برق کاهش مییابد، در حالی که دمای سطح ویفرها دقیقاً در حد مورد نظر باقی میماند. این روش، راهی ساده برای کاهش فشار بر شبکه برق مرکزی است.