Cómo aprovechar al máximo el calentamiento de las obleas
Cuando se trata de carros utilizados en salas limpias para semiconductores, no se trata simplemente de “calentar cosas”. Lo importante es llevar la energía exactamente donde se necesita: directamente sobre la superficie de la oblea.
La mayoría de las personas utilizan lámparas de cuarzo estándar, pero estas emiten calor en todas direcciones. Sin un plan adecuado, la mitad de la energía se desperdicia en el chasis del carro. Es una pérdida de energía, sencillamente.
Por eso utilizamos reflectores recubiertos de oro.
La magia del oro
El oro es increíblemente eficaz con las longitudes de onda infrarrojas. Refleja más del 98% de esa energía. Al añadir una fina capa de oro al revestimiento del carro, evitamos que los fotones se dispersen y los hacemos rebotar directamente hacia la oblea.
Esto convierte una luz dispersa en un haz concentrado. De esta manera, se logra una mayor densidad térmica en la superficie de la oblea, lo que significa que no es necesario aumentar la potencia para lograr el efecto deseado.
Velocidad vs. control
La gran ventaja aquí es la velocidad. Se alcanzan las temperaturas deseadas mucho más rápido, lo que reduce el tiempo necesario para alcanzar ese estado térmico.
Pero hay un inconveniente: como la energía está muy concentrada, las obleas se calientan rápidamente. Si los controladores PID no están ajustados adecuadamente, se podrían superar las temperaturas deseadas. Es importante verificar la calibración de los sensores para evitar dañar los bordes de las obleas.
Funcionamiento en salas limpias
Sabemos que el espacio en los carros de transporte es limitado, por eso mantenemos el tamaño del dispositivo lo más pequeño posible. También sellamos bien la capa de oro para evitar cualquier tipo de contaminación en la sala limpia.
Además, esto también ayuda a reducir los costos de energía. Al conectar estos dispositivos a la red eléctrica, se observará que el consumo de energía disminuye, mientras que la temperatura de la superficie permanece exactamente donde debe estar. Es una forma sencilla de aliviar la carga en la red eléctrica de las instalaciones.