In der Fertigungshalle gilt es, bestimmte Regeln einzuhalten. Eine geringfügige Änderung der Temperatur – selbst nur um einen halben Grad – kann dazu führen, dass kritische Abmessungen verändert werden. Eine zu hohe Temperatur wiederum zerstört nicht nur Energie, sondern auch den Photoresist. Was man braucht, ist eine Temperatur, auf die man sich verlassen kann – Schicht für Schicht, Werkzeug für Werkzeug, Charge für Charge.
Wir haben die Heizmodule so konzipiert, dass sie Kurzwellen-Infrarotstrahlung nutzen. Dadurch entsteht eine schnelle Reaktion und präzise Steuerung. Dadurch wird eine Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1°C erreicht – somit bleiben alle Prozesse innerhalb der zulässigen Temperaturgrenzen.
Die Plattform eignet sich für Reinräume der Klassen 1–100 und ist so konstruiert, dass keine Partikel entstehen. Sie arbeitet 24/7 ohne unplanmäßige Stillstandszeiten. Der Energieverbrauch sinkt, da die Wärme nur dann bereitgestellt wird, wenn sie benötigt wird – mit minimalem Standby-Verbrauch und ohne Wartezeiten.
In der Lithographie sorgt eine konstante Temperatur dafür, dass die Dicke des Photoresists stabil bleibt und es zu keinen Problemen am Rand kommt. Eine reproduzierbare Temperatur bei der Hitzebehandlung sorgt dafür, dass die Parameter innerhalb der Spezifikationen bleiben – das bedeutet weniger Ausschuss und weniger Nacharbeiten.
Durch dieselbe Plattform können Wafer gereinigt und getrocknet werden, ohne dass es zu Kontaminationen kommt. Dadurch bleiben die Partikelaufkommen unter Kontrolle. Es entstehen kürzere Bearbeitungszeiten, höhere Erträge sowie ein geringerer Energieverbrauch pro bearbeitetem Wafer – ohne dass dabei die thermische Präzision beeinträchtigt wird.
Hier sind die praktischen Details: Die Installation bedeutet, dass die Spannung sowie die Anschlussmöglichkeiten des Werkzeugs abgestimmt werden müssen. Zudem muss während der Qualifizierung sichergestellt werden, dass eine gute Wärmeübertragung zum Werkzeug stattfindet. Das Modul ist zwar kompakt, doch es sollte ausreichend Platz für den Luftstrom sowie für Wartungsarbeiten geben.
Es wird voraussichtlich eine kurze Einrichtungszeit erforderlich sein, damit die Parameter auf den jeweiligen Photoresist abgestimmt werden können. Sobald alles eingestellt ist, bleibt der Prozess konstant – Schicht für Schicht.