V linii na výrobu flexibilních obrazovek není krok sušení jen krátkou přestávkou. Je to „hranice“ mezi úspěšným výsledkem a odpadem.
Když začne lampa fungovat špatně, zůstává tam rozpouštědlo. Fotorezistent se nerovnoměrně nanáší a kontrola rozměrů se mění. Víte, co následuje: nutnost oprav, ztráta výrobků a opoždění v procesu výroby. Tuto lampu jsme navrhli právě pro takové situace.
Co je důležité uvnitř lampy
Používáme krátkovlnné infračervené záření v kvartovém obalu. To poskytuje rychlé, cílené zahřívání, které proniká do fotorezistu, aniž by poškodilo podklad.
Systém ohřevu je nastaven tak, aby byla dosažena tepelná jednotnost na úrovni waferu – ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Tak každý výrobní proces má stejné teplotní podmínky. Kryt lampy je vhodný pro použití v čistých prostorách o klasifikaci 1–100. Díky konstrukci bez částic zůstává počet částic stabilní i během dlouhého zahřívání. Nastavení teploty zůstává stejné ze série na sérii, den za dnem.
Proč funguje v továrnách na výrobu flexibilních obrazovek
Pracujete s tenkými podklady, citlivými organickými vrstvami a tepelnými systémy, které nevydrží moc. Tato lampa suší a zahřívá s kontrolovaným tempem, což umožňuje použití jak měkkých, tak i tvrdých profilů zahřívání, které chrání kritické rozměry a adhezi.
Výsledkem je méně vad, stabilní rozměry a spolehlivá výkonnost. Spotřeba energie klesá, protože lampa se zahřívá pouze na požadovanou teplotu a neexponuje ji nad její mez. Doba provozu zůstává stabilní díky komponentám určeným k 24/7 provozu.
Několik poznámek z praxe
Instalace je jednoduchá, ale důležité jsou detaily týkající se tepelného spojení s pracovní plochou. Připravte se na úpravu nastavení teploty tak, aby odpovídalo vašemu zařízení a typu podkladu.
Lampa funguje dobře s běžnými rozhraními, i když kompaktní velikost může vyžadovat drobné úpravy nástrojů. Prověřte ji krátce, abyste zajistili správné nastavení – jakmile je nastaveno, proces zůstane stabilní.