http://ir-heat-sets.com/zh/tags/tool/ Recent content in Tool on Infrared Heating Lamp Sets Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/zh/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="晶圆加工设备用温度传感器"></p> <p>在晶圆加工过程中，温度的微小变化都可能影响产品的质量。哪怕温度只相差半度，就可能导致关键尺寸出<a href="https://henruite.com">现纳米级的</a>偏差，从而导致产品报废。因此，晶圆加工设备上必须配备温度传感器，这些传感器能够为光刻、光阻软化处理、光阻固化处理以及晶圆清洗等工序设定合适的温度参数。如果温度控制不准确，那么产品的合格率就会下降。</p> <p>我们设计的传感器能够将晶圆表面的温度控制在±0.1°C范围内，且具有快速响应和重复性良好的特点。传感元件被置于符合1-100级清洁标准的封装中，所用材料能够有效减少气体释放，避免颗粒产生的可能性。该传感器的输出信号始终稳定，能够实时检测温度波动，从而避免非计划性的停机时间。此外，它还能在数千次循环后仍保持精准的测量精度。</p>