Đèn sưởi buồng bốc hơi Evatec

Tue, 09 Jun 2026 03:24:12 +0800

Trên sàn nhà máy, một sai số 0,3°C trong quá trình bake photoresist không phải là “một sự lệch nhỏ.” Đó là tác động trực tiếp đến năng suất. Khi nhiệt độ soft bake và hard bake dao động, việc kiểm soát kích thước quan trọng trở nên thất bại và dây chuyền dừng tin tưởng dữ liệu. Chúng tôi thiết kế đèn sưởi cho buồng bay hơi Evatec để loại bỏ sự không chắc chắn đó.

Đèn nướng mềm hồng ngoại

Fri, 05 Jun 2026 03:52:31 +0800

Trên sàn lithography, sự đồng nhất nhiệt độ nướng mềm không phải là một sở thích—đó là một thông số kỹ thuật. Sự chênh lệch 1°C trên toàn bề mặt wafer có thể làm thay đổi các kích thước quan trọng, làm hỏng các hồ sơ cạnh và giảm sản lượng lô này sang lô khác. Chúng tôi đã chế tạo đèn nướng mềm hồng ngoại để loại bỏ biến động đó khỏi phương trình.

Lõi của đèn sử dụng hệ thống sưởi bức xạ hồng ngoại gần (NIR), được điều chỉnh để truyền năng lượng trực tiếp vào lớp photoresist mà không làm chín các lớp phim bên dưới. Độ đồng nhất ở mức wafer giữ trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ bề mặt nướng, và tính lặp lại đảm bảo ổn định từ lô này sang lô khác, ca này sang ca khác. Bộ đèn được thiết kế sẵn sàng cho phòng sạch, với việc phát sinh hạt bụi bằng không được xác minh đến môi trường Class 1–100. Việc cung cấp điện vẫn ổn định, trôi dưới 5% sau hơn 5,000 giờ, và hồ sơ nhiệt vẫn lặp lại ngay cả khi bạn thay đổi đèn.

Đèn Bàn on Infrared Heating Lamp Sets

Đèn sưởi buồng bốc hơi Evatec

Đèn nướng mềm hồng ngoại