http://ir-heat-sets.com/uk/tags/tool/ Recent content in Tool on Infrared Heating Lamp Sets Hugo uk Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/uk/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 03 Jul 2026 08:19:15 +0800 http://ir-heat-sets.com/uk/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-sets.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Датчик температури для інструментів для обробки пластин"></p> <p>На виробничій лінії все йде так, як і має бути. Навіть незначна зміна температури під час процесу випалювання може призвести до зміни критичних параметрів на рівні нанометрів – а це означає втрату продукту. Датчики температури для пластин не є додатковим обладнанням; вони визначають параметри теплового режиму під час процесів літографії, випалювання фоторезисту та очищення пластин. Якщо єдність температури порушується, то якість продукції погіршується.</p> <p>Ми створили ці датчики для забезпечення єдності температури на рівні пластини в межах ±0,1°C, з швидкою реакцією та можливістю повторного використання. Елемент датчика розташований у корпусі, придатному для використання в чистих приміщеннях, який відповідає стандартам класу 1–100. Матеріали, з яких виготовлений датчик, дозволяють уникнути випаровування газів та утворення частинок. Вихідні дані залишаються стабільними протягом 24/7, що допомагає уникнути непланових перерв у роботі та забезпечує точність калібрування протягом тисяч циклів.</p>