Инфракрасный обогреватель совместимый с вакуумом

Sat, 25 Jul 2026 04:28:06 +0800

Как увеличить нагрев пластины (и снизить нагрев стенок камеры)
При нагреве пластин в вакууме приходится бороться с законами физики. Поскольку воздуха нет, нельзя полагаться на конвекцию. Остается только использование излучения.
Проблема в том, что каждый ватт энергии, который не попадает на пластину, просто теряется. Эта энергия нагревает стенки камеры, что увеличивает нагрузку на систему охлаждения. Это лишняя трата энергии и дополнительные проблемы для аппаратуры.
Почему мы используем золото
Стандартные кварцевые лампы излучают тепло во все стороны. Чтобы избежать этой потери энергии, мы используем отражатели, покрытые золотом. Золото отлично отражает инфракрасные лучи обратно туда, где они должны быть.
Благодаря покрытию корпуса золотом мы можем направить тепло прямо на поверхность пластины. В результате достигается гораздо выше плотность нагрева, без необходимости увеличения мощности.
Следите за тепловой нагрузкой
Однако есть и недостаток: когда такое количество излучения направляется на цель, нить лампы должна работать при более высоких температурах, чтобы поддерживать постоянный уровень выходной мощности.
Если вы используете лампы с высокой мощностью для быстрого нагрева, вашим источникам питания нужно быть очень надежными. Мы видели случаи, когда системы не справлялись с такой нагрузкой. Убедитесь, что провода могут выдержать такую нагрузку, а вакуумные уплотнения не сломаются под действием экстремальных температур.
Компромисс
Золото — лучший материал для этой задачи, но оно капризно. Оно не переносит загрязнений. Если процесс включает выделение газов или химических паров, которые могут повредить золотое покрытие, отражаемость снижается. Вы начнете замечать, что тепло распределяется неравномерно по поверхности пластины.
Сохраняйте чистоту в камере. Если покрытие будет загрязнено, это приведет не только к снижению эффективности, но и к возникновению точек с высокими температурами на поверхности пластины. Никто этого не хочет.
В конце концов, мы создаем такие нагреватели для того, чтобы тепло попадало именно туда, где это необходимо — в кремний, а не в саму машину.

Инфракрасный нагреватель для вакуумной камеры

Sun, 28 Jun 2026 05:20:01 +0800

На производственном участке именно на этапе нагрева определяется качество готовой продукции. Будь то мягкий или жесткий нагрев, даже небольшое отклонение температуры в 5°C может существенно повлиять на точность контроля размеров изделия. Если во время процесса нагрева в элементах подогрева образуются частицы, это приводит к серьезным проблемам. Инфракрасные нагреватели в вакуумной камере снижают этот риск, поскольку они обеспечивают чистую тепловую энергию, которая доставляется быстро именно туда, где она нужна.

Что важно при использовании таких устройств Мы используем источники коротковолнового инфракрасного излучения, помещенные в кварцевые оболочки. Это позволяет энергии напрямую передаваться в цель нагрева. Это снижает тепловой инерцию. В течение всего процесса однородность температуры на поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C. Параметры работы устройства также контролируются так, чтобы значение температуры оставалось стабильным даже при изменении нагрузки в камере. Устройство разработано для использования в чистых комнатах класса 1–100; оно позволяет минимизировать количество частиц. Устройство может работать круглосуточно без перерывов. Тепловой бюджет контролируется за счет стабильной и предсказуемой мощности, что обеспечивает стабильность параметров фоторезиста при производстве разных партий продукции.

Вакуум on Infrared Heating Lamp Sets

Инфракрасный обогреватель совместимый с вакуумом

Инфракрасный нагреватель для вакуумной камеры