Niestandardowy podczerwony grzejnik do płytki

Thu, 04 Jun 2026 03:20:22 +0800

Out on the litho floor, a 0.5°C drift in the photoresist bake isn’t a “small error.” It’s a scrapped wafer, a mask layer down the drain, and a schedule that slips. Thermal budgets at wafer level are exacting, and repeatability isn’t optional. That’s why we built a custom infrared heater for wafer processing around that reality—because protecting yield starts with temperature control you can measure, not cross your fingers over. What matters under the hood The unit holds ±0.1°C steady-state uniformity across the wafer, using a short-wave infrared emitter matched to the absorption profile of photoresist and substrate. The heater is built for cleanroom Class 1–100: quartz components and a particle-controlled assembly. Expect zero particle generation during bake cycles, verified by in-situ particle monitoring. The control loop recovers fast—within seconds after door events—and temperature repeatability holds across lots, shifts, and equipment. Why it behaves in production On soft bake and hard bake, you see it immediately: tighter critical dimension control, better profile symmetry, and fewer reworks. The cleanroom-compatible design keeps contamination out of the process chamber, which helps keep yields stable at advanced nodes. Energy use is leaner thanks to the infrared spectrum and low thermal mass—lower operating cost, without sacrificing ramp rates. And it drops into existing track platforms with standard mechanical and electrical interfaces, so you can deploy without re-qualifying the whole line. What you need to get right Installation comes down to the exhaust path and shield alignment—get those wrong and you won’t maintain the uniformity or particle performance. The heater is sensitive to reflector cleanliness, so stick to the recommended preventive maintenance window to keep emissivity and temperature distribution consistent. Matched to the right bake recipe, the unit cuts thermal excursions and supports tighter process windows, shift after shift.

Lampa na podczerwień do suszenia płytki krzemowej

Wed, 03 Jun 2026 12:12:13 +0800

Obserwuj, jak krzemowa płytka wychodzi z ostatniego płukania. Jeśli etap suszenia nie zostanie wykonany prawidłowo, pojawiają się smugi wodne, warstwy podkładowe fotorezystu zaczynają się odklejać, a wydajność spada. Zaprojektowaliśmy naszą lampę na podczerwień do suszenia krzemowych wafli tak, aby wyeliminować tę zmienną.

Co jest istotne „pod maską”
Lampa wykorzystuje krótkofalową podczerwień do bezpośredniego dostarczania energii do filmu i podłoża. W strefie wypalania jednorodność temperatury na poziomie wafera utrzymuje się w zakresie ±0,1°C, dzięki czemu krytyczne temperatury – soft bake, hard bake oraz post-bake – pozostają powtarzalne, cykl po cyklu.
Urządzenie jest kompatybilne z cleanroomami klasy od 1 do 100. Osłona kwarcowa oraz elementy o niskiej emisji gazów zapobiegają wzrostowi liczby cząstek. Moc wyjściowa pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin pracy, z dryftem intensywności poniżej 5%, co umożliwia pracę ciągłą 24/7.

Plasterek on Infrared Heating Lamp Sets

Niestandardowy podczerwony grzejnik do płytki

Lampa na podczerwień do suszenia płytki krzemowej